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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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用于大直徑硅片的研磨材料及其生產(chǎn)方法

797 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:29:35

本發(fā)明涉及硅片研磨材料生產(chǎn)方法技術領域，且公開了一種用于大直徑硅片的研磨材料及其生產(chǎn)方法，包括以下質量份數(shù)配比的原料：45％份硅酸鋯ZrSiO4、55％份氧化鋁Al2O3、少量催化劑和少量結合劑，首先將硅酸鋯、氧化鋁按照質量比例導入混料倉進行混合均勻攪拌,攪拌均勻后導入回轉窯進行燒結并添加催化劑和結合劑，燒結完成之后，將半成品料導入氣流磨粉碎機進行顆粒粉碎。本發(fā)明所采用的生產(chǎn)方法與其他復合型研磨材料的區(qū)別在于使用兩種材料進行煅燒，得到物理性質和化學性質相對接近的顆粒，兩種不同屬性的材料的比例可以保持不變,使得產(chǎn)品在加工和使用中的均勻性得到徹底的改變，材料的特性使得使用的效果大大增加。

聲明：

“用于大直徑硅片的研磨材料及其生產(chǎn)方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)