權(quán)利要求書： 1.一種直線電機，其特征在于，所述直線電機包括：

傳動軸(10)；

至少兩個驅(qū)動機構(gòu)(20)，沿第一方向(X)并列且間隔設(shè)置，各所述驅(qū)動機構(gòu)(20)均包括基座(21)、設(shè)于基座(21)上的定子(22)與導(dǎo)向組件(24)、以及與所述定子(22)配合的動子(23)，所述定子(22)用于驅(qū)使所述動子(23)沿第二方向(Y)線性運動，各所述動子(23)均與所述傳動軸(10)連接，所述導(dǎo)向組件(24)包括設(shè)于所述基座(21)上的導(dǎo)軌(241)、及沿所述第二方向(Y)滑動設(shè)于所述導(dǎo)軌(241)上的滑塊(242)，用于對所述傳動軸(10)沿所述第二方向(Y)的運動進行導(dǎo)向，所述滑塊(242)位于所述動子(23)沿與所述第二方向(Y)相交的方向的一側(cè)，所述第一方向(X)與所述第二方向(Y)相交；

其中，各所述驅(qū)動機構(gòu)(20)還包括具有形變功能的緩沖件(25)，所述滑塊(242)通過所述緩沖件(25)與所述動子(23)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直線電機，其特征在于，各所述動子(23)與所述傳動軸(10)之間均連接有第一安裝件(231)，所述滑塊(242)上設(shè)有與所述第一安裝件(231)間隔的第二安裝件(243)，所述緩沖件(25)連接于所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直線電機，其特征在于，所述緩沖件(25)具有形變面(256)，所述形變面(256)覆蓋并連接于所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)的同一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直線電機，其特征在于，各所述驅(qū)動機構(gòu)(20)還包括第一固定件(251)與第二固定件(252)，所述第一固定件(251)與所述第二固定件(252)分別用于將所述形變面(256)對應(yīng)壓接在所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直線電機，其特征在于，在所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)之間的間隔方向上，所述緩沖件(25)的整體長度記為L1,所述緩沖件(25)在所述第一安裝件(231)和所述第二安裝件(243)之間懸空的部分長度記為L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直線電機，其特征在于，所述緩沖件(25)包括主體(253)及連接于所述主體(253)相對兩側(cè)的兩個固定部件(254)，兩個所述固定部件(254)分別對應(yīng)連接于所述第一安裝件(231)和所述第二安裝件(243)上，且兩個所述固定部件(254)分別與所述主體(253)之間均形成有可彎折的形變部(255)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1?6任一項所述的直線電機，其特征在于，各所述驅(qū)動機構(gòu)(20)均包括沿與所述第二方向(Y)相交的方向間隔設(shè)置的兩個所述定子(22)，所述動子(23)至少部分位于兩個所述定子(22)之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1?6任一項所述的直線電機，其特征在于，所述定子(22)與所述導(dǎo)向組件(24)均設(shè)于所述基座(21)沿所述第一方向(X)的一側(cè)面上，且所述導(dǎo)向組件(24)位于所述定子(22)沿第三方向(Z)的一側(cè)，其中，所述第三方向(Z)垂直于所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)之間構(gòu)成的平面。

9.一種半導(dǎo)體制備系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1?8任一項所述的直線電機。

說明書： 直線電機及半導(dǎo)體制備系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本申請涉及驅(qū)動設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及直線電機及半導(dǎo)體制備系統(tǒng)。背景技術(shù)[0002] 直線電機是一種將電能直接轉(zhuǎn)換成線性運動機械能的機構(gòu)，因反應(yīng)速度快、靈敏度高等特點，被廣泛應(yīng)用在各種作業(yè)平臺中，而對于一些大跨距作業(yè)平臺中，通常會選擇雙

驅(qū)直線電機作為驅(qū)動源。

[0003] 雙驅(qū)直線電機主要包括橫梁軸以及連接在橫梁軸兩側(cè)的兩個電機組件，利用兩側(cè)的電機組件驅(qū)使橫梁軸作線性運動。然而，當作業(yè)平臺的運動工況為高頻運動時，比如：半

導(dǎo)體作業(yè)平臺等，橫梁軸的高頻運動會給兩側(cè)電機組件帶來高頻沖擊，導(dǎo)致直線電機處于

不穩(wěn)定工況，影響驅(qū)動定位精度。

發(fā)明內(nèi)容[0004] 基于此，有必要提供一種直線電機及半導(dǎo)體制備系統(tǒng)，降低高頻運動造成的高頻沖擊，使得直線電機處于穩(wěn)定工況，減少對驅(qū)動定位精度的影響。

[0005] 一種直線電機，所述直線電機包括：傳動軸；至少兩個驅(qū)動機構(gòu)，沿第一方向并列且間隔設(shè)置，各所述驅(qū)動機構(gòu)均包括基座、設(shè)于基座上的定子與導(dǎo)向組件、以及與所述定子

配合的動子，所述定子用于驅(qū)使所述動子沿第二方向線性運動，各所述動子均與所述傳動

軸連接，所述導(dǎo)向組件包括設(shè)于所述基座上的導(dǎo)軌、及沿所述第二方向滑動設(shè)于所述導(dǎo)軌

上的滑塊，用于對所述傳動軸沿所述第二方向的運動進行導(dǎo)向，所述第一方向與所述第二

方向相交；其中，各所述驅(qū)動機構(gòu)還包括具有形變功能的緩沖件，所述滑塊通過所述緩沖件

與所述動子或所述傳動軸連接。

[0006] 上述的直線電機，利用定子與動子之間的配合，驅(qū)使動子沿第二方向運動，以帶動傳動軸在第二方向上運動；同時，利用滑塊與導(dǎo)軌的配合，確保傳動軸的運動穩(wěn)定。由于滑

塊與傳動軸或動子之間連接有緩沖件，因此，當傳動軸進行高頻運動時，傳動軸所產(chǎn)生的高

頻振動會傳遞至緩沖件上，此時緩沖件受振動而發(fā)生形變，以吸收至少部分傳動軸的振動

能量，降低高頻振動給導(dǎo)軌帶來的負荷，極大程度削減因瞬時變化的工況對直線電機的影

響，使得直線電機處于穩(wěn)定工況，從而有利于減少對驅(qū)動定位精度的影響。

[0007] 在其中一個實施例中，所述滑塊位于所述動子沿與所述第二方向相交的方向的一側(cè)，所述滑塊通過所述緩沖件與所述動子連接。

[0008] 在其中一個實施例中，各所述動子與所述傳動軸之間均連接有第一安裝件，所述滑塊上設(shè)有與所述第一安裝件間隔的第二安裝件，所述緩沖件連接于所述第一安裝件與所

述第二安裝件之間。

[0009] 在其中一個實施例中，所述緩沖件具有形變面，所述形變面覆蓋并連接于所述第一安裝件與所述第二安裝件的同一側(cè)。

[0010] 在其中一個實施例中，各所述驅(qū)動機構(gòu)還包括第一固定件與第二固定件，所述第一固定件與所述第二固定件分別用于將所述形變面對應(yīng)壓接在所述第一安裝件與所述第

二安裝件上。

[0011] 在其中一個實施例中，在所述第一安裝件與所述第二安裝件之間的間隔方向上，所述緩沖件的整體長度記為L1,所述緩沖件在所述第一安裝件和所述第二安裝件之間懸空

的部分長度記為L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。

[0012] 在其中一個實施例中，所述緩沖件包括主體及連接于所述主體相對兩側(cè)的兩個固定部件，兩個所述固定部件分別對應(yīng)連接于所述第一安裝件和所述第二安裝件上，且兩個

所述固定部件分別與所述主體之間均形成有可彎折的形變部。

[0013] 在其中一個實施例中，各所述驅(qū)動機構(gòu)均包括沿與所述第二方向相交的方向間隔設(shè)置的兩個所述定子，所述動子至少部分位于兩個所述定子之間。

[0014] 在其中一個實施例中，所述定子與所述導(dǎo)向組件均設(shè)于所述基座沿所述第一方向的一側(cè)面上，且所述導(dǎo)向組件位于所述定子沿第三方向的一側(cè)，其中，所述第三方向垂直于

所述第一方向和所述第二方向之間構(gòu)成的平面。

[0015] 一種半導(dǎo)體制備系統(tǒng)，包括以上任一項所述的直線電機。[0016] 上述的半導(dǎo)體制備系統(tǒng)，采用以上的直線電機，利用定子與動子之間的配合，驅(qū)使動子沿第二方向運動，以帶動傳動軸在第二方向上運動；同時，利用滑塊與導(dǎo)軌的配合，確

保傳動軸的運動穩(wěn)定。由于滑塊與傳動軸或動子之間連接有緩沖件，因此，當傳動軸進行高

頻運動時，傳動軸所產(chǎn)生的高頻振動會傳遞至緩沖件上，此時緩沖件受振動而發(fā)生形變，以

吸收至少部分傳動軸的振動能量，降低高頻振動給導(dǎo)軌帶來的負荷，極大程度削減因瞬時

變化的工況對直線電機的影響，使得直線電機處于穩(wěn)定工況，從而有利于減少對驅(qū)動定位

精度的影響。

附圖說明[0017] 圖1為本申請的一些實施例中所述的直線電機結(jié)構(gòu)示意圖。[0018] 圖2為圖1中圈A處結(jié)構(gòu)放大示意圖。[0019] 圖3為本申請的一些實施例中所述的緩沖件受高頻振動時的形變分析圖。[0020] 圖4為本申請的另一些實施例中所述的緩沖件結(jié)構(gòu)示意圖。[0021] 100、直線電機；10、傳動軸；20、驅(qū)動機構(gòu)；21、基座；211、安裝槽；22、定子；23、動子；231、第一安裝件；24、導(dǎo)向組件；241、導(dǎo)軌；242、滑塊；243、第二安裝件；25、緩沖件；251、第一固定件；252、第二固定件；253、主體；25a、臺階部；254、固定部件；255、形變部；256、形

變面；X、第一方向；Y、第二方向；Z、第三方向。

具體實施方式[0022] 為使本申請的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本申請的具體實施方式做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本申

請。但是本申請能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不

違背本申請內(nèi)涵的情況下做類似改進，因此本申請不受下面公開的具體實施例的限制。

[0023] 在本申請的描述中，需要理解的是，若有出現(xiàn)這些術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“順時針”、“逆時針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等，這些術(shù)語指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本申請和簡化描述，而不是指示

或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解

為對本申請的限制。

[0024] 此外，若有出現(xiàn)這些術(shù)語“第一”、“第二”，這些術(shù)語僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、

“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。在本申請的描述中，若有出現(xiàn)術(shù)

語“多個”，“多個”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具體的限定。

[0025] 在本申請中，除非另有明確的規(guī)定和限定，若有出現(xiàn)術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等，這些術(shù)語應(yīng)做廣義理解。例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一

體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可

以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對于本領(lǐng)域

的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本申請中的具體含義。

[0026] 在本申請中，除非另有明確的規(guī)定和限定，若有出現(xiàn)第一特征在第二特征“上”或“下”等類似的描述，其含義可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間

媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特

征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之

下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水

平高度小于第二特征。

[0027] 需要說明的是，若元件被稱為“固定于”或“設(shè)置于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。若一個元件被認為是“連接”另一個元件，它可以

是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。如若存在，本申請所使用的術(shù)語“垂

直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的，并不表示是唯一的實施方式。

[0028] 當直線電機使用場景的運動工況為連續(xù)、短行程且高頻運動時，比如：半導(dǎo)體制備過程中等，高頻運動引發(fā)的高頻振動，會增加導(dǎo)軌的負荷。為便于理解，以雙驅(qū)直線電機為

例進行說明，但不能以此解讀為對本申請方案的范圍的限定。在雙驅(qū)直線電機運動過程中，

橫梁軸的高頻運動會帶來高頻沖擊，比如：可理解為橫梁軸在短行程之內(nèi)進行高頻往復(fù)啟

停，帶來慣性沖擊；或者，在整段行程范圍內(nèi)，高頻加減速帶來的沖擊等。高頻沖擊不斷作用

在與橫梁軸配合的動子和導(dǎo)軌上，尤其對導(dǎo)軌而言，高頻沖擊會影響導(dǎo)軌與滑塊的間隙及

安裝的直線度，或者導(dǎo)軌與導(dǎo)軌之間的平行度等，導(dǎo)致直線電機在整段行程范圍內(nèi)存在定

位差異，使之處于不穩(wěn)定工況，影響驅(qū)動定位精度。

[0029] 為此，請參考圖1，本申請?zhí)峁┝艘环N直線電機100，直線電機100包括傳動軸10、緩沖件25及至少兩個驅(qū)動機構(gòu)20。全部的驅(qū)動機構(gòu)20沿第一方向X并列且間隔設(shè)置，各驅(qū)動機

構(gòu)20均包括基座21、設(shè)于基座21上的定子22與導(dǎo)向組件24、以及與定子22配合的動子23。定

子22用于驅(qū)使動子23沿第二方向Y線性運動，各動子23均與傳動軸10連接，導(dǎo)向組件24包括

設(shè)于基座21上的導(dǎo)軌241、及沿第二方向Y滑動設(shè)于導(dǎo)軌241上的滑塊242，用于對傳動軸10

沿第二方向Y的運動進行導(dǎo)向。第一方向X與第二方向Y相交（比如第一方向X與第二方向Y垂

直等）；其中，各驅(qū)動機構(gòu)20還包括具有形變功能的緩沖件25，滑塊242通過緩沖件25與動子

23或傳動軸10連接。

[0030] 上述的直線電機100，利用定子22與動子23之間的配合，驅(qū)使動子23沿第二方向Y運動，以帶動傳動軸10在第二方向Y上運動；同時，利用滑塊242與導(dǎo)軌241的配合，確保傳動

軸10的運動穩(wěn)定。由于滑塊242與傳動軸10或動子23之間連接有緩沖件25，因此，當傳動軸

10進行高頻運動時，傳動軸10所產(chǎn)生的高頻振動會傳遞至緩沖件25上，此時緩沖件25受振

動而發(fā)生形變，以吸收至少部分傳動軸10的振動能量，降低高頻振動給導(dǎo)軌241帶來的負

荷，極大程度削減因瞬時變化的工況對直線電機100的影響，使得直線電機100處于穩(wěn)定工

況，從而有利于減少對驅(qū)動定位精度的影響。

[0031] 另外，通過緩沖件25的緩沖形變，實現(xiàn)傳動軸10或動子23與滑塊242之間的柔性連接，降低高頻沖擊對滑塊242的影響，有利于縮短直線電機100到位的整定時間，便于直線電

機100滿足高精度、高頻運動的需求。其中，整定時間也可理解為安定時間。

[0032] 需要說明的是，驅(qū)動機構(gòu)20的數(shù)量可為兩個、三個或更多數(shù)量。當驅(qū)動機構(gòu)20為三個及以上時，傳動軸10則分別與三個以上的動子23進行連接。具體到一些實施例中，驅(qū)動機

構(gòu)20為兩個，傳動軸10分別與兩個動子23連接。

[0033] 傳動軸10與動子23之間的連接可為柔性連接，也可為剛性連接。其中，柔性連接是指傳動軸10與動子23之間的連接結(jié)構(gòu)可允許緩存形變，能夠吸收部分沖擊能量，比如：傳動

軸10與動子23之間采用金屬片進行連接等。而剛性連接是指傳動軸10與動子23之間的力剛

性傳遞，比如：傳動軸10與動子23之間采用螺栓、卡接、鉚接等方式進行固定連接。

[0034] 緩沖件25是指自身能夠發(fā)生一定形變的結(jié)構(gòu)，比如：其可為但不限于金屬結(jié)構(gòu)等。在選擇緩沖件25材質(zhì)時，應(yīng)注意傳動軸10的高頻沖擊不超過材料自身的彈性極限，這樣當

緩沖件25在發(fā)生形變后，可在不受力或受力減弱的情況下能恢復(fù)形變。

[0035] 在同一驅(qū)動機構(gòu)20中，緩沖件25的數(shù)量可為一個，也可為多個。當緩沖件25的數(shù)量為多個時，全部緩沖件25可間隔連接于滑塊242與傳動軸10或動子23之間。同樣，在同一驅(qū)

動機構(gòu)20中，導(dǎo)軌241的數(shù)量也可為一個或者多個，當導(dǎo)軌241的數(shù)量為多個時，至少兩個導(dǎo)

軌241分別位于定子22的相對兩側(cè)。同時，在同一導(dǎo)軌241上，可配置有一個滑塊242，也可配

置多個滑塊242。

[0036] 還需說明的是，定子22與動子23配合應(yīng)理解為直線電機100通電后，動子23在定子22內(nèi)受到直線電磁推力的過程。以直線感應(yīng)電機為例進行說明，定子22的一側(cè)稱為初級，動

子23的一側(cè)稱為次級。將初級和次級制造成不同的長度，當初級繞組通入交流電源時，便在

氣隙中產(chǎn)生行波磁場，次級在行波磁場切割下，將感應(yīng)出電動勢并產(chǎn)生電流，該電流與氣隙

中的磁場相作用就產(chǎn)生電磁推力等。而對于定子22與動子23的具體結(jié)構(gòu)非本申請所改進的

對象，可直接參考現(xiàn)有文獻或現(xiàn)有產(chǎn)品，在此不作具體介紹。

[0037] 進一步地，請參考圖1與圖2，滑塊242位于動子23沿與第二方向Y相交的方向的一側(cè)，滑塊242通過緩沖件25與動子23連接。由此可知，滑塊242與動子23之間為柔性連接，這

樣在實現(xiàn)對動子23沿第二方向Y運動導(dǎo)向的同時，吸收高頻沖擊的部分能量，降低對導(dǎo)軌

241的影響，有利于提升直線電機100的定位精度以及縮短整定時間。

[0038] 需要說明的是，緩沖件25分別在滑塊242與動子23上的連接可為間接連接，也可為直接連接。其中，直接連接是指緩沖件25直接連接在滑塊242或動子23上。

[0039] 更進一步地，請參考圖2，各動子23與傳動軸10之間均連接有第一安裝件231，滑塊242上設(shè)有與第一安裝件231間隔的第二安裝件243。緩沖件25連接于第一安裝件231與第二

安裝件243之間。如此，分別利用第一安裝件231和第二安裝件243，使得緩沖件25穩(wěn)定連接

在動子23和滑塊242之間，以便能對高頻振動實現(xiàn)更好的有效緩沖。

[0040] 需要說明的是，第一安裝件231在動子23與傳動軸10之間的連接方式有多種，比如：粘接、螺栓連接、卡接、鉚接等。同樣，第二安裝件243在滑塊242上的連接方式也可為但

不限于粘接、螺栓連接、卡接、鉚接等。

[0041] 第一安裝件231和第二安裝件243的形狀也有多種設(shè)計，比如：第一安裝件231和第二安裝件243均可設(shè)計成塊狀或板狀等結(jié)構(gòu)，此時，第一安裝件231設(shè)置在動子23朝向傳動

軸10的一側(cè)面上，第二安裝件243設(shè)置在滑塊242背向?qū)к?41的一側(cè)面上。

[0042] 還需說明的是，第二安裝件243與滑塊242之間的數(shù)量關(guān)系可為一對一；也可為一對多，比如：在同一導(dǎo)軌241上，多個滑塊242通過同一第二安裝件243進行連接。具體到一些

實施例中，兩個導(dǎo)軌241分別設(shè)于動子23的相對兩側(cè)，各導(dǎo)軌241上均間隔設(shè)有兩個滑塊

242，同時，各滑塊242上的第二安裝件243均通過緩沖件25連接在第一安裝件231上。

[0043] 在一些實施例中，請參考圖3，緩沖件25具有形變面256。形變面256覆蓋并連接于第一安裝件231與第二安裝件243的同一側(cè)。由此可知，緩沖件25則覆蓋在第一安裝件231與

第二安裝件243的頂面，當然，也可理解為形變面256一部分貼設(shè)在第一安裝件231背向動子

23的一側(cè)面上，另一部分貼設(shè)在第二安裝件243背向滑塊242的一側(cè)面上。當傳動軸10沿第

二方向Y進行高頻運動時，所產(chǎn)生的高頻振動會導(dǎo)致緩沖件25沿第一方向X受力，此時形變

面256發(fā)生彎曲形變，減弱高頻沖擊向滑塊242和導(dǎo)軌241傳遞，從而降低高頻沖擊對直線電

機100的影響，有利于實現(xiàn)同步連續(xù)短行程高精度、高頻運動。

[0044] 需要說明的是，緩沖件25可構(gòu)造成片狀結(jié)構(gòu)，該片狀結(jié)構(gòu)的相對兩表面均為形變面256，比如：緩沖件25的長度與厚度之比超過20倍等。具體到一些實施例中，緩沖件25可被

構(gòu)造金屬膜片。

[0045] 另外，該片狀結(jié)構(gòu)的形狀有多種，比如：片狀結(jié)構(gòu)的形狀可為但不限于方形、梯形、圓形、橢圓形等；當然，也可設(shè)計成不規(guī)則的圖形。同時，通過緩沖件25的變形吸收傳動軸10

的高頻振動，緩沖件25的橫截面（垂直于形變面256的截面）設(shè)計只需要核算直線電機100在

運行過程中才生的剪切力，確保緩沖件25的強度復(fù)核能夠達到目前工況要求即可。

[0046] 為方便緩沖件25連接在第一安裝件231與第二安裝件243的同一側(cè)，當傳動軸10未發(fā)生運動時，第一安裝件231背向動子23的一側(cè)面與第二安裝件243背向滑塊242的一側(cè)面

齊平設(shè)置。

[0047] 在一些實施例中，請參考圖3，各驅(qū)動機構(gòu)20還包括第一固定件251與第二固定件252，第一固定件251與第二固定件252分別用于將形變面256對應(yīng)壓接在第一安裝件231與

第二安裝件243上。如此，利用第一固定件251與第二固定件252，分別將形變面256穩(wěn)定壓緊

在第一安裝件231和第二安裝件243上，避免形變時緩沖件25從第一安裝件231或第二安裝

件243上發(fā)生脫落，從而保證結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。

[0048] 需要說明的是，為實現(xiàn)更有效的壓緊，第一固定件251與第二固定件252均可設(shè)計成條狀結(jié)構(gòu)，比如：第一固定件251與第二固定件252分別沿形變面256的邊緣延伸，使得形

變面256的整個邊緣均能得到有效固定。

[0049] 還需說明的是，第一固定件251在第一安裝件231上的連接方式可為但不限于卡接、鉚接、螺栓連接等。同時，第二固定件252在第二安裝件243上的連接方式可為但不限于

卡接、鉚接、螺栓連接等。

[0050] 在一些實施例中，請參考圖3，在第一安裝件231與第二安裝件243之間的間隔方向上。緩沖件25的整體長度記為L1,緩沖件25在第一安裝件231和第二安裝件243之間懸空的

部分長度記為L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。其中，緩沖件25在第一安裝件231與第二安裝件

243之間懸空的部分應(yīng)理解為：位于第一安裝件231與第二安裝件243之間間隙的部分，也可

理解為緩沖件25的整體長度減去緩沖件25分別在第一安裝件231和第二安裝件243上的重

疊部分。緩沖件25上對應(yīng)L2的部分所占比例越大，說明緩沖件25懸空的部分越多，可形變能

力越大，緩沖效果越好；但緩沖件25上對應(yīng)L2的部分所占越大，則意味著被固定在第一安裝

件231和第二安裝件243上的部分則越小，連接強度越弱，因發(fā)生結(jié)構(gòu)失穩(wěn)。

[0051] 為此，本實施例將L2：L1的比值合理控制3:5 5:7之間，能有效兼顧緩沖件25的緩~

沖性和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。

[0052] 需要說明的是，第一安裝件231與第二安裝件243之間的間隔方向，可理解為與第二方向Y相交的方向。具體到一些實施例中，當導(dǎo)軌241設(shè)置在動子23沿第三方向Z的一側(cè)

時，第一安裝件231與第二安裝件243之間的間隔方向為第三方向Z，其中，第三方向Z垂直于

第一方向X和第二方向Y之間構(gòu)成的平面。當然在其他實施例中，第三方向Z、第一方向X和第

二方向Y之間兩兩垂直。

[0053] 在一些實施例中，請參考圖4，緩沖件25包括主體253及連接于主體253相對兩側(cè)的兩個固定部件254。兩個固定部件254分別對應(yīng)連接于第一安裝件231和第二安裝件243上，

且兩個固定部件254分別與主體253之間均形成有可彎折的形變部255。如此，當傳動軸10進

行高頻運動時，緩沖件25會優(yōu)先在形變部255處發(fā)生形變，以削弱高頻振動對導(dǎo)軌241的影

響，使得直線電機100處于穩(wěn)定工況，有利于提升定位精度、以及縮短整定時間。

[0054] 需要說明的是，形變部255是指緩沖件25上較容易發(fā)生形變的部位，其厚度可與緩沖件25上其他部位上厚度一致，但材料的彈性模量要高于其他部位上的彈性模量；當然，形

變部255的材料也可與其他部位上的材料一致，但其厚度要薄于其他部位上的厚度。

[0055] 具體到一些實施例中，請參考圖4，形變部255為固定部件254與主體253之間的交接邊，且各固定部件254與主體253連接的一側(cè)厚度均小于主體253的厚度，此時，主體253的

端面超出對應(yīng)固定部件254的部分包括臺階部25a，當固定部件254設(shè)置在第一安裝件231或

第二安裝件243上時，臺階部25a會與第一安裝件231或第二安裝件243的端部抵觸，使得緩

沖件25在第一安裝件231和第二安裝件243上實現(xiàn)有效的安裝定位。

[0056] 還需說明的是，兩個固定部件254的表面及主體253的表面可共同界定形成形變面256。

[0057] 在一些實施例中，請參考圖1，各驅(qū)動機構(gòu)20均包括沿與第二方向Y相交的方向間隔設(shè)置的兩個定子22，動子23至少部分位于兩個定子22之間。如此，在動子23兩側(cè)分布定子

22，使得動子23使能（可理解為直線電機100處于激磁狀態(tài)）后，動子23在與第二方向Y相交

的方向上，會受到上下兩個相反的磁場作用，使得在與第二方向Y相交的方向上的磁吸力抵

消為零，這樣動子23在磁場中間無吸力、無干擾力產(chǎn)生，進一步有效緩解高頻振動的影響。

[0058] 另外，動子23在磁場中間無吸力、無干擾力產(chǎn)生，使得即便傳動軸10產(chǎn)生的高頻振動直接作用在動子23上也不會對直線電機100帶來較大的工況差異。而高頻振動在傳導(dǎo)至

緩沖件25位置后，通過緩沖件25的自身變形，使得針對于整個驅(qū)動系統(tǒng)（比如龍門雙驅(qū)系統(tǒng)

等）來說，運動瞬間的工況不會因為導(dǎo)軌241連續(xù)非周期性的波動變化而受到影響，從而達

到相對穩(wěn)定的結(jié)果。

[0059] 需要說明的是，與第二方向Y相交的方向可與第一方向X保持一致，也可與第一方向X相交，比如：兩個定子22沿第三方向Z間隔分布，其中，第三方向Z垂直于第一方向X和第

二方向Y構(gòu)成的平面。

[0060] 為方便定子22的安裝，可在基座21上設(shè)置沿第二方向Y延伸的安裝槽211，且兩個定子22分別設(shè)于安裝槽211的相對兩槽壁上。

[0061] 不難理解地，當動子23通過緩沖件25連接在滑塊242上時，動子23則可在導(dǎo)向組件24的支撐作用下，懸空在兩個定子22之間。

[0062] 在一些實施例中，請參考圖1，定子22與導(dǎo)向組件24均設(shè)于基座21沿第一方向X的一側(cè)面上，且導(dǎo)向組件24位于定子22沿第三方向Z的一側(cè)，其中，第三方向Z垂直于第一方向

X和第二方向Y之間構(gòu)成的平面。由此可知，在相鄰兩個驅(qū)動機構(gòu)20之間，定子22與導(dǎo)向組件

24均設(shè)置在兩個驅(qū)動機構(gòu)20相互朝向的側(cè)面上。如此，方便傳動軸10連接在相鄰兩個驅(qū)動

機構(gòu)20之間。

[0063] 在一些實施例中，一種半導(dǎo)體制備系統(tǒng)，包括以上任一項的直線電機100。[0064] 上述的半導(dǎo)體制備系統(tǒng)，采用以上的直線電機100，利用定子22與動子23之間的配合，驅(qū)使動子23沿第二方向Y運動，以帶動傳動軸10在第二方向Y上運動；同時，利用滑塊242

與導(dǎo)軌241的配合，確保傳動軸10的運動穩(wěn)定。由于滑塊242與傳動軸10或動子23之間連接

有緩沖件25，因此，當傳動軸10進行高頻運動時，傳動軸10所產(chǎn)生的高頻振動會傳遞至緩沖

件25上，此時緩沖件25受振動而發(fā)生形變，以吸收至少部分傳動軸10的振動能量，降低高頻

振動給導(dǎo)軌241帶來的負荷，極大程度削減因瞬時變化的工況對直線電機100的影響，使得

直線電機100處于穩(wěn)定工況，從而有利于減少對驅(qū)動定位精度的影響。

[0065] 以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存

在矛盾，都應(yīng)當認為是本說明書記載的范圍。

[0066] 以上所述實施例僅表達了本申請的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對申請專利范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來

說，在不脫離本申請構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本申請的保護

范圍。因此，本申請專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。