權(quán)利要求書： 1.一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置，包括樣品臺(1)，其特征在于，所述樣品臺(1)的內(nèi)部等間距開設(shè)有六種圓形孔洞，且每種圓形孔洞皆設(shè)置為大小相同的兩個，六種所述圓形孔洞包括第一插孔(2)、第二插孔(3)、第三插孔(4)、第四插孔(5)、第五插孔(6)以及第六插孔(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置，其特征在于，所述樣品臺(1)為金屬圓柱體，且樣品臺(1)的直徑為3.5㎝、高度為1.5㎝，并且六種圓形孔洞皆軸向貫穿所述樣品臺(1)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置，其特征在于，所述樣品臺(1)底部的中心位置處開設(shè)有凹槽(8)，且凹槽(8)呈半球狀結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置，其特征在于，所述樣品臺(1)放置于平臺(9)上，且平臺(9)頂端的中心位置處固定有定位球(10)，所述定位球(10)呈圓球狀結(jié)構(gòu)，且定位球(10)與凹槽(8)之間相互嵌合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置，其特征在于，所述第一插孔(2)、第二插孔(3)、第三插孔(4)、第四插孔(5)、第五插孔(6)以及第六插孔(7)的直徑分別為0.5㎜、0.8㎜、1.2㎜、1.5㎜、2.0㎜以及3.0㎜。

說明書： 一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型涉及電鏡檢驗設(shè)備領(lǐng)域，具體是一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置。

背景技術(shù)[0002] 隨著現(xiàn)代鋼鐵行業(yè)的迅速發(fā)展，為了研究新工藝、新材料，不斷的優(yōu)化工藝參數(shù)及提升產(chǎn)品性能，在失效分析時采用掃描電鏡分析斷口已經(jīng)成為必不可少的環(huán)節(jié)之一，然而

在掃描電鏡分析之前首先必須截取合適長度的試樣，并固定在掃描電鏡的樣品臺上。

[0003] 目前，常用的蔡司掃描電鏡樣品臺是直徑為4.6厘米的圓柱體，中間有9個直徑為4毫米的圓形孔洞，但主要用于樣品樁的固定，對于拉拔后只有1毫米左右的試樣固定并不能

很好地滿足要求，使試樣固定不穩(wěn)及易傾斜，對全面分析掃描斷口時產(chǎn)生一定的干擾和困

難。

[0004] 針對這種情況，本領(lǐng)域技術(shù)人員提供了一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置。實用新型內(nèi)容

[0005] 本實用新型的目的在于提供一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的細小試樣固定不穩(wěn)導(dǎo)致無法滿足分析要求的問題。

[0006] 為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：[0007] 一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置，包括樣品臺，所述樣品臺的內(nèi)部等間距開設(shè)有六種圓形孔洞，且每種圓形孔洞皆設(shè)置為大小相同的兩個，六種所述圓形孔洞包括

第一插孔、第二插孔、第三插孔、第四插孔、第五插孔以及第六插孔。

[0008] 作為本實用新型再進一步的方案：所述樣品臺為金屬圓柱體，且樣品臺的直徑為3.5㎝、高度為1.5㎝，并且六種圓形孔洞皆軸向貫穿所述樣品臺，能一次性放置多個不同拉

拔階段斷裂的斷口試樣。

[0009] 作為本實用新型再進一步的方案：所述樣品臺底部的中心位置處開設(shè)有凹槽，且凹槽呈半球狀結(jié)構(gòu)，用于與定位球相互匹配、輔助限位。

[0010] 作為本實用新型再進一步的方案：所述樣品臺放置于平臺上，且平臺頂端的中心位置處固定有定位球，所述定位球呈圓球狀結(jié)構(gòu)，且定位球與凹槽之間相互嵌合，使得樣品

臺能夠在一定范圍內(nèi)關(guān)于平臺水平或傾斜放置，從而適用于帶有弧度的斷口，確保斷口的

斷面盡量在一個水平面上。

[0011] 作為本實用新型再進一步的方案：所述第一插孔、第二插孔、第三插孔、第四插孔、第五插孔以及第六插孔的直徑分別為0.5㎜、0.8㎜、1.2㎜、1.5㎜、2.0㎜以及3.0㎜，能根據(jù)

不同規(guī)格的斷口試樣選擇相應(yīng)大小的孔洞并插入進去。

[0012] 本實用新型的有益效果是：[0013] 1、通過在一個樣品臺上開設(shè)六種規(guī)格的圓形孔洞，適用于多種規(guī)格的斷口試樣，能一次性放置多個不同拉拔階段斷裂的斷口試樣，不用來回對樣品室進行放氣、抽真空，提

高了檢驗效率；

[0014] 2、對于帶有弧度的斷口試樣，通過定位球與凹槽之間的旋轉(zhuǎn)嵌合關(guān)系，使得樣品臺能夠在一定范圍內(nèi)關(guān)于平臺調(diào)整傾斜角度，從而確保斷口的斷面盡量在一個水平面上，

進而有效提高分析準確性和工作效率。

附圖說明[0015] 下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的說明。[0016] 圖1為一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置的立體示意圖；[0017] 圖2為圖1中樣品臺的仰視立體示意圖；[0018] 圖3為圖1中平臺的立體示意圖。[0019] 圖中：1、樣品臺；2、第一插孔；3、第二插孔；4、第三插孔；5、第四插孔；6、第五插孔；7、第六插孔；8、凹槽；9、平臺；10、定位球。

具體實施方式[0020] 下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，請參閱圖1～3，本實用新型實施例如下：

[0021] 一種用于掃描電鏡細小試樣的固定裝置，在圖1中：包括樣品臺1，樣品臺1的內(nèi)部等間距開設(shè)有六種圓形孔洞，且每種圓形孔洞皆設(shè)置為大小相同的兩個，六種圓形孔洞包

括第一插孔2、第二插孔3、第三插孔4、第四插孔5、第五插孔6以及第六插孔7。

[0022] 在圖1中：樣品臺1為金屬圓柱體，且樣品臺1的直徑為3.5㎝、高度為1.5㎝，并且六種圓形孔洞皆軸向貫穿樣品臺1，能一次性放置多個不同拉拔階段斷裂的斷口試樣；第一插

孔2、第二插孔3、第三插孔4、第四插孔5、第五插孔6以及第六插孔7的直徑分別為0.5㎜、0.8

㎜、1.2㎜、1.5㎜、2.0㎜以及3.0㎜，能根據(jù)不同規(guī)格的斷口試樣選擇相應(yīng)大小的孔洞并插

入進去。

[0023] 在圖2和圖3中：樣品臺1底部的中心位置處開設(shè)有凹槽8，且凹槽8呈半球狀結(jié)構(gòu)，用于與定位球10相互匹配、輔助限位；樣品臺1放置于平臺9上，且平臺9頂端的中心位置處

固定有定位球10，定位球10呈圓球狀結(jié)構(gòu)，且定位球10與凹槽8之間相互嵌合，使得樣品臺1

能夠在一定范圍內(nèi)關(guān)于平臺9水平或傾斜放置，從而適用于帶有弧度的斷口，確保斷口的斷

面盡量在一個水平面上。

[0024] 本實用新型的工作原理是：利用試驗室現(xiàn)有的∑IGMA|HD蔡司掃描電鏡的樣品臺1進行改造，通過在一個樣品臺1上開設(shè)六種規(guī)格的圓形孔洞，分別為兩個直徑為0.5㎜、兩個

直徑為0.8㎜、兩個直徑為1.2㎜、兩個直徑為1.5㎜、兩個直徑為2.0㎜以及兩個直徑為3.0

㎜的圓形孔洞，針對不同規(guī)格的斷口試樣插入不同大小的孔洞內(nèi)，并用碳導(dǎo)電膠帶交叉固

定，再將樣品臺1用碳導(dǎo)電膠帶粘在樣品實的平臺9上，掃描時斷口試樣不會來回晃動、傾斜

干擾分析，從而適用于多種規(guī)格的斷口試樣，能一次性放置多個不同拉拔階段斷裂的斷口

試樣，不用來回對樣品室進行放氣、抽真空，提高了檢驗效率；

[0025] 此外，對于帶有弧度的斷口試樣，通過定位球10與凹槽8之間的旋轉(zhuǎn)嵌合關(guān)系，可使得樣品臺1能夠在一定范圍內(nèi)關(guān)于平臺9調(diào)整傾斜角度，從而確保斷口的斷面盡量在一個

水平面上，有利于得到一張清晰的掃描電鏡斷口照片，進而有效提高分析準確性和工作效

率。

[0026] 以上所述的，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實

用新型的技術(shù)方案及其實用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護

范圍之內(nèi)。