權(quán)利要求書： 1.一種半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上端側(cè)壁上固定連接有裝置座(2)，所述裝置座(2)的上端設(shè)有電解池(3)，所述電解池(3)上設(shè)有開(kāi)口朝上的電解槽(4)，所述電解池(3)的一側(cè)側(cè)壁上設(shè)有恒流電源(5)，所述電解槽(4)靠近恒流電源(5)一側(cè)的內(nèi)壁上固定連接有陰極(6)，所述陰極(6)為鉑電極，所述電解槽(4)的底部?jī)?nèi)壁中固定連接有承載墊(7)，所述陰極(6)通過(guò)第一導(dǎo)線(8)與恒流電源(5)的負(fù)極電連接，所述承載墊(7)的一側(cè)側(cè)壁上通過(guò)第二導(dǎo)線(9)與恒流電源(5)的正極電連接，所述承載墊(7)的上端側(cè)壁上等間距設(shè)有多個(gè)陽(yáng)極(11)，多個(gè)所述陽(yáng)極(11)均為待拋光半導(dǎo)體材料，所述電解槽(4)內(nèi)裝盛有電解液(13)，所述電解液(13)浸沒(méi)陰極(6)和陽(yáng)極(11)，所述裝置座(2)內(nèi)設(shè)有加熱裝置，所述底板(1)上設(shè)有升降攪拌機(jī)構(gòu)；所述承載墊(7)的上端側(cè)壁上等間距設(shè)有多個(gè)承載槽(10)，多個(gè)所述陽(yáng)極(11)分別設(shè)置在多個(gè)承載槽(10)內(nèi)，多個(gè)所述陽(yáng)極(11)均通過(guò)導(dǎo)電膠(12)與承載墊(7)電連接；所述加熱裝置包括設(shè)置在裝置座(2)的側(cè)壁中的陶瓷電加熱板(15)，所述裝置座(2)的上端側(cè)壁上設(shè)有與電解池(3)位置相對(duì)應(yīng)的放置槽(14)，所述電解池(3)的下端位于放置槽(14)內(nèi)，所述陶瓷電加熱板(15)設(shè)置在放置槽(14)的正下方；所述電解池(3)的一側(cè)側(cè)壁上固定連接有安裝板(16)，所述恒流電源(5)的下端側(cè)壁與安裝板(16)的上端側(cè)壁固定連接；所述升降攪拌機(jī)構(gòu)包括固定連接在底板(1)的上端側(cè)壁上的電動(dòng)推桿(17)，所述電動(dòng)推桿(17)輸出軸的末端朝上固定連接有頂板(18)，所述頂板(18)的上端側(cè)壁上通過(guò)安裝座(19)固定連接有電機(jī)(20)，所述安裝座(19)和頂板(18)的側(cè)壁上共同貫穿設(shè)有通孔(21)，所述通孔(21)與電解池(3)為同軸心設(shè)置，所述電機(jī)(20)輸出軸的末端貫穿通孔(21)并固定連接有攪拌框(22)，所述電機(jī)(20)的輸出軸通過(guò)軸承與通孔(21)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述攪拌框(22)的兩側(cè)側(cè)壁上均等間距設(shè)有多個(gè)攪拌軸(23)，多個(gè)所述攪拌軸(23)均通過(guò)連接塊(24)與攪拌框(22)的兩側(cè)側(cè)壁固定連接；所述攪拌框(22)設(shè)置為矩形框體，多個(gè)所述攪拌軸(23)的數(shù)量至少為五個(gè)，多個(gè)所述攪拌軸(23)的形狀設(shè)置為長(zhǎng)條矩形，多個(gè)所述攪拌軸(23)遠(yuǎn)離攪拌框(22)的一端兩兩之間分別長(zhǎng)短相間設(shè)置；所述電解池(3)的側(cè)壁上分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)相互對(duì)稱的把手(25)。

2.一種半導(dǎo)體材料的電解拋光方法，其特征在于，包括以下步驟：S1，對(duì)多個(gè)待拋光半導(dǎo)體材料的陽(yáng)極(11)均進(jìn)行電解拋光前的準(zhǔn)備，對(duì)陽(yáng)極(11)的表面進(jìn)行初級(jí)手工打磨處理，去除陽(yáng)極(11)表面殘留的雜質(zhì)，并對(duì)陽(yáng)極(11)表面使用清水進(jìn)行清洗；

S2，將多個(gè)待拋光半導(dǎo)體材料的陽(yáng)極(11)依次通過(guò)導(dǎo)電膠(12)粘連固定在多個(gè)承載槽(10)內(nèi)；

S3，將配制好的適量電解液(13)倒入電解池(3)上的電解槽(4)內(nèi)，確保電解液(13)可浸沒(méi)陰極(6)和陽(yáng)極(11)并不會(huì)溢出電解池(3)，此時(shí)陰極(6)和陽(yáng)極(11)通過(guò)電解液(13)與恒流電源(5)電連接成一個(gè)回路；

S4，通過(guò)把手(25)將電解池(3)提拿放置在裝置座(2)上的放置槽(14)內(nèi)，將陶瓷電加熱板(15)、電動(dòng)推桿(17)、電機(jī)(20)分別與外接電源電連接，并將其啟動(dòng)；

S5，此時(shí)陶瓷電加熱板(15)可對(duì)電解池(3)內(nèi)的電解液(13)進(jìn)行適當(dāng)加熱，使其溫度位于30℃?70℃之間，電動(dòng)推桿(17)帶動(dòng)頂板(18)上的攪拌框(22)、攪拌軸(23)及連接塊(24)浸入電解液(13)中，電機(jī)(20)可帶動(dòng)攪拌框(22)及攪拌軸(23)轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)電解液(13)進(jìn)行攪拌，從而促進(jìn)陽(yáng)極(11)的電解拋光；

S6，根據(jù)電解拋光的狀況，在陽(yáng)極(11)電解拋光后，使電動(dòng)推桿(17)帶動(dòng)頂板(18)上的攪拌框(22)、攪拌軸(23)及連接塊(24)移出電解液(13)，然后將陶瓷電加熱板(15)、電動(dòng)推桿(17)、電機(jī)(20)分別與外接電源斷開(kāi)電連接，并將其關(guān)閉，及時(shí)清理掉電解液并將陽(yáng)極(11)取出。

說(shuō)明書： 一種半導(dǎo)體材料的電解拋光方法及裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體材料的電解拋光方法及裝置。

背景技術(shù)[0002] 自然界的材料按導(dǎo)電能力大小可分為導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體三大類，其中半導(dǎo)體材料是一類具有半導(dǎo)體性能，即導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間，電阻率約在1mΩ·cm～

1GΩ·cm范圍內(nèi)，且可用來(lái)制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料。

[0003] 磨削和研磨等磨料處理是生產(chǎn)半導(dǎo)體晶片必要方式，拋光和平面化對(duì)生產(chǎn)微電子原件來(lái)說(shuō)是十分重要的，傳統(tǒng)的最常見(jiàn)的拋光方式是機(jī)械拋光，然而機(jī)械拋光不但費(fèi)時(shí)費(fèi)

力，容易引起厚度、平行度的誤差，而且會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體材料的表面完整性變差，極易發(fā)生碎

裂損壞，因此可通過(guò)電解拋光來(lái)代替機(jī)械拋光，電解拋光是指待拋光材料在一定組成的電

解溶液中進(jìn)行特殊的陽(yáng)極處理，以獲得平滑、光亮表面的精飾加工過(guò)程，來(lái)提高半導(dǎo)體材料

的加工精度，在電解拋光的過(guò)程中，一般溫度越高，拋光整平的速度也就越快，且電解拋光

時(shí)攪拌電解液，能促使電解液的流動(dòng)，保證最適宜的拋光條件。

[0004] 現(xiàn)有的半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，一般都是設(shè)置陽(yáng)極為要進(jìn)行拋光的工件，將陽(yáng)極和陰極通過(guò)電解液連通，并通以直流電進(jìn)行電解拋光，但是無(wú)法提高電解液的

溫度，且缺乏攪拌電解液的功能，而溫度及攪拌對(duì)于電解拋光速度均具有一定的影響，這使

得電解拋光的速度緩慢，效率低，為此我們提出了一種半導(dǎo)體材料的電解拋光方法及裝置，

用來(lái)解決上述問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容[0005] 本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種半導(dǎo)體材料的電解拋光方法及裝置，其結(jié)構(gòu)合理，使用方便，且設(shè)置有加熱裝置和升降攪拌機(jī)構(gòu)，通過(guò)加熱

裝置提高電解液的溫度，有利于加快電解拋光的速度，通過(guò)升降攪拌機(jī)構(gòu)，既能促使電解液

的流動(dòng)，又能保證拋光區(qū)域的離子擴(kuò)散和新電解液的補(bǔ)充，從而促進(jìn)了陽(yáng)極的電解拋光，提

高了電解拋光的效率。

[0006] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：[0007] 一種半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置，包括底板，所述底板的上端側(cè)壁上固定連接有裝置座，所述裝置座的上端設(shè)有電解池，所述電解池上設(shè)有開(kāi)口朝上的電解槽，所述電解池

的一側(cè)側(cè)壁上設(shè)有恒流電源，所述電解槽靠近恒流電源一側(cè)的內(nèi)壁上固定連接有陰極，所

述陰極為鉑電極，所述電解槽的底部?jī)?nèi)壁中固定連接有承載墊，所述陰極通過(guò)第一導(dǎo)線與

恒流電源的負(fù)極電連接，所述承載墊的一側(cè)側(cè)壁上通過(guò)第二導(dǎo)線與恒流電源的正極電連

接，所述承載墊的上端側(cè)壁上等間距設(shè)有多個(gè)陽(yáng)極，多個(gè)所述陽(yáng)極均為待拋光半導(dǎo)體材料，

所述電解槽內(nèi)裝盛有電解液，所述電解液浸沒(méi)陰極和陽(yáng)極，所述裝置座內(nèi)設(shè)有加熱裝置，所

述底板上設(shè)有升降攪拌機(jī)構(gòu)。

[0008] 優(yōu)選地，所述承載墊的上端側(cè)壁上等間距設(shè)有多個(gè)承載槽，多個(gè)所述陽(yáng)極分別設(shè)置在多個(gè)承載槽內(nèi)，多個(gè)所述陽(yáng)極均通過(guò)導(dǎo)電膠與承載墊電連接。

[0009] 優(yōu)選地，所述加熱裝置包括設(shè)置在裝置座的側(cè)壁中的陶瓷電加熱板，所述裝置座的上端側(cè)壁上設(shè)有與電解池位置相對(duì)應(yīng)的放置槽，所述電解池的下端位于放置槽內(nèi)，所述

陶瓷電加熱板設(shè)置在放置槽的正下方。

[0010] 優(yōu)選地，所述電解池的一側(cè)側(cè)壁上固定連接有安裝板，所述恒流電源的下端側(cè)壁與安裝板的上端側(cè)壁固定連接。

[0011] 優(yōu)選地，所述升降攪拌機(jī)構(gòu)包括固定連接在底板的上端側(cè)壁上的電動(dòng)推桿，所述電動(dòng)推桿輸出軸的末端朝上固定連接有頂板，所述頂板的上端側(cè)壁上通過(guò)安裝座固定連接

有電機(jī)，所述安裝座和頂板的側(cè)壁上共同貫穿設(shè)有通孔，所述通孔與電解池為同軸心設(shè)置，

所述電機(jī)輸出軸的末端貫穿通孔并固定連接有攪拌框，所述電機(jī)的輸出軸通過(guò)軸承與通孔

的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述攪拌框的兩側(cè)側(cè)壁上均等間距設(shè)有多個(gè)攪拌軸，多個(gè)所述攪拌軸均

通過(guò)連接塊與攪拌框的兩側(cè)側(cè)壁固定連接。

[0012] 優(yōu)選地，所述攪拌框設(shè)置為矩形框體，多個(gè)所述攪拌軸的數(shù)量至少為五個(gè)，多個(gè)所述攪拌軸的形狀設(shè)置為長(zhǎng)條矩形，多個(gè)所述攪拌軸遠(yuǎn)離攪拌框的一端兩兩之間分別長(zhǎng)短相

間設(shè)置。

[0013] 優(yōu)選地，所述電解池的側(cè)壁上分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)相互對(duì)稱的把手。[0014] 本發(fā)明還提出了一種半導(dǎo)體材料的電解拋光方法，包括以下步驟：[0015] S1，對(duì)多個(gè)待拋光半導(dǎo)體材料的陽(yáng)極均進(jìn)行電解拋光前的準(zhǔn)備，對(duì)陽(yáng)極的表面進(jìn)行初級(jí)手工打磨處理，去除陽(yáng)極表面殘留的雜質(zhì)，并對(duì)陽(yáng)極表面使用清水進(jìn)行清洗；

[0016] S2，將多個(gè)待拋光半導(dǎo)體材料的陽(yáng)極依次通過(guò)導(dǎo)電膠粘連固定在多個(gè)承載槽內(nèi)；[0017] S3，將配制好的適量電解液倒入電解池上的電解槽內(nèi)，確保電解液可浸沒(méi)陰極和陽(yáng)極并不會(huì)溢出電解池，此時(shí)陰極和陽(yáng)極通過(guò)電解液與恒流電源電連接成一個(gè)回路；

[0018] S4，通過(guò)把手將電解池提拿放置在裝置座上的放置槽內(nèi)，將陶瓷電加熱板、電動(dòng)推桿、電機(jī)分別與外接電源電連接，并將其啟動(dòng)；

[0019] S5，此時(shí)陶瓷電加熱板可對(duì)電解池內(nèi)的電解液進(jìn)行適當(dāng)加熱，使其溫度位于30℃?70℃之間，電動(dòng)推桿帶動(dòng)頂板上的攪拌框、攪拌軸及連接塊浸入電解液中，電機(jī)可帶動(dòng)攪拌

框及攪拌軸轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)電解液進(jìn)行攪拌，從而促進(jìn)陽(yáng)極的電解拋光；

[0020] S6，根據(jù)電解拋光的狀況，在陽(yáng)極電解拋光后，使電動(dòng)推桿帶動(dòng)頂板上的攪拌框、攪拌軸及連接塊移出電解液，然后將陶瓷電加熱板、電動(dòng)推桿、電機(jī)分別與外接電源斷開(kāi)電

連接，并將其關(guān)閉，及時(shí)清理掉電解液并將陽(yáng)極取出。

[0021] 本發(fā)明具有以下有益效果：[0022] 1、通過(guò)在電解池下端的裝置座上設(shè)置加熱裝置，陶瓷電加熱板可對(duì)電解池內(nèi)的電解液進(jìn)行適當(dāng)加熱，使其溫度位于30℃?70℃之間，提高電解液的溫度，有利于加快電解拋

光的速度，提高電解拋光的效率；

[0023] 2、通過(guò)在底板上設(shè)置升降攪拌機(jī)構(gòu)，電動(dòng)推桿帶動(dòng)頂板上的攪拌框、攪拌軸及連接塊浸入電解液中，電機(jī)可帶動(dòng)攪拌框及攪拌軸轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)電解液進(jìn)行攪拌，既能促使電解液

的流動(dòng)，又能保證拋光區(qū)域的離子擴(kuò)散和新電解液的補(bǔ)充，并使電解溫度差減小，保證最適

宜的拋光條件，從而促進(jìn)陽(yáng)極的電解拋光，且攪拌框和攪拌軸的結(jié)構(gòu)新穎，可提高攪拌的效

果，有利于充分?jǐn)嚢瑁?br>
[0024] 3、通過(guò)在電解池上設(shè)置木質(zhì)把手，方便通過(guò)把手提拿電解池，更加方便使用；[0025] 4、通過(guò)設(shè)置多個(gè)陽(yáng)極，且多個(gè)陽(yáng)極均浸沒(méi)在電解液中，使得電解拋光的面積增大，有利于提高效率。

[0026] 綜上所述，本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，使用方便，且設(shè)置有加熱裝置和升降攪拌機(jī)構(gòu)，通過(guò)加熱裝置提高電解液的溫度，有利于加快電解拋光的速度，通過(guò)升降攪拌機(jī)構(gòu)，既能促使電

解液的流動(dòng)，又能保證拋光區(qū)域的離子擴(kuò)散和新電解液的補(bǔ)充，從而促進(jìn)了陽(yáng)極的電解拋

光，提高了電解拋光的效率。

附圖說(shuō)明[0027] 圖1為本發(fā)明提出的一種半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；[0028] 圖2為圖1中A處結(jié)構(gòu)放大圖；[0029] 圖3為本發(fā)明提出的一種半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置攪拌時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0030] 圖4為本發(fā)明提出的一種半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置的外觀結(jié)構(gòu)示意圖。[0031] 圖中：1底板、2裝置座、3電解池、4電解槽、5恒流電源、6陰極、7承載墊、8第一導(dǎo)線、9第二導(dǎo)線、10承載槽、11陽(yáng)極、12導(dǎo)電膠、13電解液、14放置槽、15陶瓷電加熱板、16安裝板、

17電動(dòng)推桿、18頂板、19安裝座、20電機(jī)、21通孔、22攪拌框、23攪拌軸、24連接塊、25把手。

具體實(shí)施方式[0032] 下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。

[0033] 在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便

于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以

特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

[0034] 參照?qǐng)D1?4，一種半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置，包括底板1，底板1的上端側(cè)壁上固定連接有裝置座2，裝置座2的上端設(shè)有電解池3，電解池3上設(shè)有開(kāi)口朝上的電解槽4，電解

池3的一側(cè)側(cè)壁上設(shè)有恒流電源5，電解槽4靠近恒流電源5一側(cè)的內(nèi)壁上固定連接有陰極6，

陰極6為鉑電極，電解槽4的底部?jī)?nèi)壁中固定連接有承載墊7，陰極6通過(guò)第一導(dǎo)線8與恒流電

源5的負(fù)極電連接，承載墊7的一側(cè)側(cè)壁上通過(guò)第二導(dǎo)線9與恒流電源5的正極電連接，承載

墊7的上端側(cè)壁上等間距設(shè)有多個(gè)陽(yáng)極11，多個(gè)陽(yáng)極11均為待拋光半導(dǎo)體材料，電解槽4內(nèi)

裝盛有電解液13，電解液13浸沒(méi)陰極6和陽(yáng)極11，裝置座2內(nèi)設(shè)有加熱裝置，底板1上設(shè)有升

降攪拌機(jī)構(gòu)，通過(guò)設(shè)置多個(gè)陽(yáng)極11，且多個(gè)陽(yáng)極11均浸沒(méi)在電解液13中，使得電解拋光的面

積增大，有利于提高效率。

[0035] 其中，承載墊7的上端側(cè)壁上等間距設(shè)有多個(gè)承載槽10，多個(gè)陽(yáng)極11分別設(shè)置在多個(gè)承載槽10內(nèi)，多個(gè)陽(yáng)極11均通過(guò)導(dǎo)電膠12與承載墊7電連接，在陽(yáng)極11電解拋光前，先將

多個(gè)待拋光半導(dǎo)體材料的陽(yáng)極11依次通過(guò)導(dǎo)電膠12粘連固定在多個(gè)承載槽10內(nèi)，并將配制

好的適量電解液13倒入電解池3上的電解槽4內(nèi)，確保電解液13可浸沒(méi)陰極6和陽(yáng)極11并不

會(huì)溢出電解池3，此時(shí)陰極6和陽(yáng)極11通過(guò)電解液13與恒流電源5電連接成一個(gè)回路。

[0036] 其中，加熱裝置包括設(shè)置在裝置座2的側(cè)壁中的陶瓷電加熱板15，裝置座2的上端側(cè)壁上設(shè)有與電解池3位置相對(duì)應(yīng)的放置槽14，電解池3的下端位于放置槽14內(nèi)，陶瓷電加

熱板15設(shè)置在放置槽14的正下方，將電解池3提拿放置在裝置座2上的放置槽14內(nèi)，將陶瓷

電加熱板15與外接電源電連接，并將其啟動(dòng)，此時(shí)陶瓷電加熱板15可對(duì)電解池3內(nèi)的電解液

13進(jìn)行適當(dāng)加熱，使其溫度位于30℃?70℃之間，提高電解液13的溫度，有利于加快電解拋

光的速度，提高電解拋光的效率。

[0037] 其中，電解池3的一側(cè)側(cè)壁上通過(guò)焊接固定連接有安裝板16，恒流電源5的下端側(cè)壁與安裝板16的上端側(cè)壁固定連接。

[0038] 其中，升降攪拌機(jī)構(gòu)包括通過(guò)焊接固定連接在底板1的上端側(cè)壁上的電動(dòng)推桿17，電動(dòng)推桿17輸出軸的末端朝上通過(guò)焊接固定連接有頂板18，頂板18的上端側(cè)壁上通過(guò)安裝

座19固定連接有電機(jī)20，安裝座19和頂板18的側(cè)壁上共同貫穿設(shè)有通孔21，通孔21與電解

池3為同軸心設(shè)置，電機(jī)20輸出軸的末端貫穿通孔21并固定連接有攪拌框22，電機(jī)20的輸出

軸通過(guò)軸承與通孔21的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，攪拌框22的兩側(cè)側(cè)壁上均等間距設(shè)有多個(gè)攪拌軸

23，多個(gè)攪拌軸23均通過(guò)連接塊24與攪拌框22的兩側(cè)側(cè)壁固定連接，將電動(dòng)推桿17、電機(jī)20

分別與外接電源電連接，并將其啟動(dòng)，電動(dòng)推桿17帶動(dòng)頂板18上的攪拌框22、攪拌軸23及連

接塊24浸入電解液13中，電機(jī)20可帶動(dòng)攪拌框22及攪拌軸23轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)電解液13進(jìn)行攪拌，既

能促使電解液13的流動(dòng)，又能保證拋光區(qū)域的離子擴(kuò)散和新電解液13的補(bǔ)充，并使電解溫

度差減小，保證最適宜的拋光條件，從而促進(jìn)陽(yáng)極11的電解拋光。

[0039] 其中，攪拌框22設(shè)置為矩形框體，多個(gè)攪拌軸23的數(shù)量至少為五個(gè)，多個(gè)攪拌軸23的形狀設(shè)置為長(zhǎng)條矩形，多個(gè)攪拌軸23遠(yuǎn)離攪拌框22的一端兩兩之間分別長(zhǎng)短相間設(shè)置，

可提高攪拌的效果，有利于充分?jǐn)嚢琛?br>
[0040] 其中，電解池3的側(cè)壁上分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)相互對(duì)稱的把手25，把手25的材質(zhì)為木質(zhì)，方便通過(guò)把手25提拿電解池3，更加方便使用。

[0041] 本發(fā)明還提出一種半導(dǎo)體材料的電解拋光方法，包括以下步驟：[0042] S1，對(duì)多個(gè)待拋光半導(dǎo)體材料的陽(yáng)極11均進(jìn)行電解拋光前的準(zhǔn)備，對(duì)陽(yáng)極11的表面進(jìn)行初級(jí)手工打磨處理，去除陽(yáng)極11表面殘留的雜質(zhì)，并對(duì)陽(yáng)極11表面使用清水進(jìn)行清

洗；

[0043] S2，將多個(gè)待拋光半導(dǎo)體材料的陽(yáng)極11依次通過(guò)導(dǎo)電膠12粘連固定在多個(gè)承載槽10內(nèi)；

[0044] S3，將配制好的適量電解液13倒入電解池3上的電解槽4內(nèi)，確保電解液13可浸沒(méi)陰極6和陽(yáng)極11并不會(huì)溢出電解池3，此時(shí)陰極6和陽(yáng)極11通過(guò)電解液13與恒流電源5電連接

成一個(gè)回路；

[0045] S4，通過(guò)把手25將電解池3提拿放置在裝置座2上的放置槽14內(nèi)，將陶瓷電加熱板15、電動(dòng)推桿17、電機(jī)20分別與外接電源電連接，并將其啟動(dòng)；

[0046] S5，此時(shí)陶瓷電加熱板15可對(duì)電解池3內(nèi)的電解液13進(jìn)行適當(dāng)加熱，使其溫度位于30℃?70℃之間，提高電解液13的溫度，有利于加快電解拋光的速度，提高電解拋光的效率，

電動(dòng)推桿17帶動(dòng)頂板18上的攪拌框22、攪拌軸23及連接塊24浸入電解液13中，電機(jī)20可帶

動(dòng)攪拌框22及攪拌軸23轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)電解液13進(jìn)行攪拌，既能促使電解液13的流動(dòng)，又能保證拋

光區(qū)域的離子擴(kuò)散和新電解液13的補(bǔ)充，并使電解溫度差減小，保證最適宜的拋光條件，從

而促進(jìn)陽(yáng)極11的電解拋光；

[0047] S6，根據(jù)電解拋光的狀況，在陽(yáng)極11電解拋光后，使電動(dòng)推桿17帶動(dòng)頂板18上的攪拌框22、攪拌軸23及連接塊24移出電解液13，然后將陶瓷電加熱板15、電動(dòng)推桿17、電機(jī)20

分別與外接電源斷開(kāi)電連接，并將其關(guān)閉，及時(shí)清理掉電解液并將陽(yáng)極11取出。

[0048] 本發(fā)明中，電解拋光前，先對(duì)陽(yáng)極11的表面進(jìn)行初級(jí)手工打磨處理，去除陽(yáng)極11表面殘留的雜質(zhì)，并對(duì)陽(yáng)極11表面使用清水進(jìn)行清洗，然后將多個(gè)待拋光半導(dǎo)體材料的陽(yáng)極

11依次通過(guò)導(dǎo)電膠12粘連固定在多個(gè)承載槽10內(nèi)，再將配制好的適量電解液13倒入電解池

3上的電解槽4內(nèi)，確保電解液13可浸沒(méi)陰極6和陽(yáng)極11并不會(huì)溢出電解池3，此時(shí)陰極6和陽(yáng)

極11通過(guò)電解液13與恒流電源5電連接成一個(gè)回路，通過(guò)把手25將電解池3提拿放置在裝置

座2上的放置槽14內(nèi)，將陶瓷電加熱板15、電動(dòng)推桿17、電機(jī)20分別與外接電源電連接，并將

其啟動(dòng)，此時(shí)陶瓷電加熱板15可對(duì)電解池3內(nèi)的電解液13進(jìn)行適當(dāng)加熱，使其溫度位于30

℃?70℃之間，有利于加快電解拋光的速度，提高電解拋光的效率，電動(dòng)推桿17帶動(dòng)頂板18

上的攪拌框22、攪拌軸23及連接塊24浸入電解液13中，電機(jī)20可帶動(dòng)攪拌框22及攪拌軸23

轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)電解液13進(jìn)行攪拌，既能促使電解液13的流動(dòng)，又能保證拋光區(qū)域的離子擴(kuò)散和新

電解液13的補(bǔ)充，并使電解溫度差減小，保證最適宜的拋光條件，從而促進(jìn)陽(yáng)極11的電解拋

光，最后根據(jù)電解拋光的狀況，在陽(yáng)極11電解拋光后，使電動(dòng)推桿17帶動(dòng)頂板18上的攪拌框

22、攪拌軸23及連接塊24移出電解液13，然后將陶瓷電加熱板15、電動(dòng)推桿17、電機(jī)20分別

與外接電源斷開(kāi)電連接，并將其關(guān)閉，及時(shí)清理掉電解液并將陽(yáng)極11取出。

[0049] 以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案及其

發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。