權(quán)利要求書： 1.一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置，包括工作臺(1)，其特征在于：所述工作臺(1)的一側(cè)設(shè)置有夾緊機(jī)構(gòu)，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括滑板(2)、安裝架(3)、連桿組件和用于夾緊晶圓貼片的夾持板(7)，所述夾持板(7)和滑板(2)固定連接，滑板(2)和工作臺(1)滑動連接，所述滑板(2)通過連桿組件和氣缸(4)的活動端相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置，其特征在于：所述連桿組件包括連桿一(5)、連桿二(6)、轉(zhuǎn)軸(13)和連桿三(18)，所述氣缸(4)的活動端上固定連接有轉(zhuǎn)軸(13)，所述轉(zhuǎn)軸(13)上轉(zhuǎn)動連接有兩個連桿三(18)，每個連桿三(18)均和對應(yīng)的連桿二(6)的桿體轉(zhuǎn)動連接，連桿二(6)的兩端分別和滑板(2)以及安裝架(3)轉(zhuǎn)動連接，所述連桿二(6)的一側(cè)設(shè)置有連桿一(5)，所述連桿一(5)的兩端分別和滑板(2)以及安裝架(3)轉(zhuǎn)動連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置，其特征在于：

所述氣缸(4)外殼體的下方固定連接有承載板(17)，所述承載板(17)上設(shè)置有磁性吸附機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置，其特征在于：所述磁性吸附機(jī)構(gòu)包括推拉桿(12)、導(dǎo)電片一(14)、套筒(15)和導(dǎo)電片二(16)，所述套筒(15)和承載板(17)固定連接，所述套筒(15)的內(nèi)側(cè)固定連接有導(dǎo)電片二(16)，所述套筒(15)內(nèi)滑動連接有推拉桿(12)，推拉桿(12)和轉(zhuǎn)軸(13)固定連接，所述推拉桿(12)上固定連接有導(dǎo)電片一(14)，所述導(dǎo)電片一(14)和導(dǎo)電片二(16)均和外部電源電性連接，所述推拉桿(12)上固定連接有電磁鐵(11)，所述電磁鐵(11)、導(dǎo)電片一(14)、導(dǎo)電片二(16)以及外部電源組成回路，工作臺(1)內(nèi)開設(shè)有滑槽，所述轉(zhuǎn)軸(13)在滑槽內(nèi)移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置，其特征在于：所述滑板(2)上固定連接有桿件一(8)，所述桿件一(8)內(nèi)彈性連接有桿件二(9)，所述桿件二(9)上固定連接有風(fēng)機(jī)(10)，所述風(fēng)機(jī)(10)和外部控制設(shè)備電性連接。

說明書： 一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型涉及晶圓加工領(lǐng)域，更具體地說，本實用涉及一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置。背景技術(shù)[0002] 在進(jìn)行晶圓加工時，往往會將晶圓粘貼在一塊鐵片上，讓一塊鐵片承納多個晶圓，便于對合格晶圓的收集，尤其是在晶圓的分選過程中，鐵片在承載臺上是否穩(wěn)定，影響了晶圓的粘貼質(zhì)量，但是現(xiàn)有的晶圓分選機(jī)上的夾持裝置的夾持穩(wěn)定性還不夠高。實用新型內(nèi)容

[0003] 為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實用新型提供一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置，本實用新型所要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有的晶圓分選機(jī)上的夾持裝置的夾持穩(wěn)定性還不夠高。[0004] 為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置，包括工作臺，所述工作臺的一側(cè)設(shè)置有夾緊機(jī)構(gòu)，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括滑板、安裝架、連桿組件和用于夾緊晶圓貼片的夾持板，所述夾持板和滑板固定連接，滑板和工作臺滑動連接，所述滑板通過連桿組件和氣缸的活動端相連接。[0005] 優(yōu)選的，所述連桿組件包括連桿一、連桿二、轉(zhuǎn)軸和連桿三，所述氣缸的活動端上固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動連接有兩個連桿三，每個連桿三均和對應(yīng)的連桿二的桿體轉(zhuǎn)動連接，連桿二的兩端分別和滑板以及安裝架轉(zhuǎn)動連接，所述連桿二的一側(cè)設(shè)置有連桿一，所述連桿一的兩端分別和滑板以及安裝架轉(zhuǎn)動連接。[0006] 優(yōu)選的，所述氣缸外殼體的下方固定連接有承載板，所述承載板上設(shè)置有磁性吸附機(jī)構(gòu)。[0007] 優(yōu)選的，所述磁性吸附機(jī)構(gòu)包括推拉桿、導(dǎo)電片一、套筒和導(dǎo)電片二，所述套筒和承載板固定連接，所述套筒的內(nèi)側(cè)固定連接有導(dǎo)電片二，所述套筒內(nèi)滑動連接有推拉桿，推拉桿和轉(zhuǎn)軸固定連接，所述推拉桿上固定連接有導(dǎo)電片一，所述導(dǎo)電片一和導(dǎo)電片二均和外部電源電性連接，所述推拉桿上固定連接有電磁鐵，所述電磁鐵、導(dǎo)電片一、導(dǎo)電片二以及外部電源組成回路，工作臺內(nèi)開設(shè)有滑槽，所述轉(zhuǎn)軸在滑槽內(nèi)移動。[0008] 優(yōu)選的，所述滑板上固定連接有桿件一，所述桿件一內(nèi)彈性連接有桿件二，所述桿件二上固定連接有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)和外部控制設(shè)備電性連接。[0009] 本實用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：[0010] 1、氣缸控制活動端的收回時，氣缸的活動端拉動轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸帶動連桿三，從而帶動連桿一和連桿二控制兩個滑板在工作臺上相向靠近滑動，使得滑板帶動夾持板對工作臺上的晶圓貼片進(jìn)行夾緊，便于在晶圓分選機(jī)將晶圓粘貼到晶圓鐵片上時，晶圓貼片的穩(wěn)定性。[0011] 2、在氣缸控制自由端收縮時，兩側(cè)的滑板會帶動夾持板逐漸靠近晶圓鐵片，之后轉(zhuǎn)軸帶動推拉桿在套筒內(nèi)滑動，當(dāng)導(dǎo)電片一和導(dǎo)電片二相貼合時，回路連通，推拉桿上端的電磁鐵通電產(chǎn)生磁性，使得電磁鐵從滑槽內(nèi)，即工作臺在晶圓鐵片的底部對晶圓鐵片有一個磁吸力，之后氣缸控制氣缸的自由端繼續(xù)收回，直到夾持板能夠從兩側(cè)夾緊晶圓鐵片。附圖說明[0012] 圖1為本實用新型一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。[0013] 圖2為本實用新型推拉桿的結(jié)構(gòu)示意圖。[0014] 圖3為本實用新型套筒內(nèi)部的結(jié)構(gòu)示意圖。[0015] 附圖標(biāo)記為：[0016] 1、工作臺；2、滑板；3、安裝架；4、氣缸；5、連桿一；6、連桿二；7、夾持板；8、桿件一；9、桿件二；10、風(fēng)機(jī)；11、電磁鐵；12、推拉桿；13、轉(zhuǎn)軸；14、導(dǎo)電片一15、套筒；16、導(dǎo)電片二；

17、承載板；18、連桿三。

具體實施方式[0017] 下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。[0018] 實施例一[0019] 請參閱圖1，一種全自動晶圓分選機(jī)取料精密夾緊裝置，包括工作臺1，：所述工作臺1的一側(cè)設(shè)置有夾緊機(jī)構(gòu)，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括滑板2、安裝架3、連桿組件和用于夾緊晶圓貼片的夾持板7，所述夾持板7和滑板2固定連接，滑板2和工作臺1滑動連接，所述滑板2通過連桿組件和氣缸4的活動端相連接。[0020] 所述連桿組件包括連桿一5、連桿二6、轉(zhuǎn)軸13和連桿三18，所述氣缸4的活動端上固定連接有轉(zhuǎn)軸13，所述轉(zhuǎn)軸13上轉(zhuǎn)動連接有兩個連桿三18，每個連桿三18均和對應(yīng)的連桿二6的桿體轉(zhuǎn)動連接，連桿二6的兩端分別和滑板2以及安裝架3轉(zhuǎn)動連接，所述連桿二6的一側(cè)設(shè)置有連桿一5，所述連桿一5的兩端分別和滑板2以及安裝架3轉(zhuǎn)動連接。[0021] 氣缸4控制活動端的收回時，氣缸4的活動端拉動轉(zhuǎn)軸13，轉(zhuǎn)軸13帶動連桿三18，從而帶動連桿一5和連桿二6控制兩個滑板2在工作臺1上相向靠近滑動，使得滑板2帶動夾持板7對工作臺1上的晶圓貼片進(jìn)行夾緊，便于在晶圓分選機(jī)將晶圓粘貼到晶圓鐵片上時，晶圓貼片的穩(wěn)定性。[0022] 實施例二[0023] 請參閱圖1?3，在上述實施例的基礎(chǔ)上，所述氣缸4外殼體的下方固定連接有承載板17，所述承載板17上設(shè)置有磁性吸附機(jī)構(gòu)。[0024] 所述磁性吸附機(jī)構(gòu)包括推拉桿12、導(dǎo)電片一14、套筒15和導(dǎo)電片二16，所述套筒15和承載板17固定連接，所述套筒15的內(nèi)側(cè)固定連接有導(dǎo)電片二16，所述套筒15內(nèi)滑動連接有推拉桿12，推拉桿12和轉(zhuǎn)軸13固定連接，所述推拉桿12上固定連接有導(dǎo)電片一14，所述導(dǎo)電片一14和導(dǎo)電片二16均和外部電源電性連接，所述推拉桿12上固定連接有電磁鐵11，所述電磁鐵11、導(dǎo)電片一14、導(dǎo)電片二16以及外部電源組成回路，工作臺1內(nèi)開設(shè)有滑槽，所述轉(zhuǎn)軸13在滑槽內(nèi)移動。[0025] 在氣缸4控制自由端收縮時，兩側(cè)的滑板2會帶動夾持板7逐漸靠近晶圓鐵片，之后轉(zhuǎn)軸13帶動推拉桿12在套筒15內(nèi)滑動，當(dāng)導(dǎo)電片一14和導(dǎo)電片二16相貼合時，回路連通，推拉桿12上端的電磁鐵11通電產(chǎn)生磁性，使得電磁鐵11從滑槽內(nèi)，即工作臺1在晶圓鐵片的底部對晶圓鐵片有一個磁吸力，之后氣缸4控制氣缸4的自由端繼續(xù)收回，直到夾持板7能夠從兩側(cè)夾緊晶圓鐵片，在這一過程中，導(dǎo)電片一14和導(dǎo)電片二16始終處于貼合狀態(tài)，當(dāng)一個晶圓鐵片完成承載任務(wù)后，氣缸4控制活動端伸展開來，夾持板7先從晶圓鐵片的一側(cè)離開，之后導(dǎo)電片一14和導(dǎo)電片二16相分離，最后便可以取下該晶圓鐵片并換上新的晶圓鐵片，重復(fù)上述行為。[0026] 實施例三[0027] 請參閱圖1，在上述實施例的基礎(chǔ)上，所述滑板2上固定連接有桿件一8，所述桿件一8內(nèi)彈性連接有桿件二9，所述桿件二9上固定連接有風(fēng)機(jī)10，所述風(fēng)機(jī)10和外部控制設(shè)備電性連接。在兩個滑板2相互靠近時，開啟外部控制設(shè)備，使得外部控制設(shè)備控制風(fēng)機(jī)10吸氣，能夠?qū)惭b在工作臺1上的晶圓鐵片上的浮灰吸除，以保證后續(xù)晶圓粘貼在晶圓鐵片上的穩(wěn)固性，當(dāng)兩個風(fēng)機(jī)10靠近并碰上時，在彈性力的作用下，桿件二9在桿件一8內(nèi)收縮，這樣既不會妨礙滑板2的正常運(yùn)動，也能夠讓風(fēng)機(jī)10持續(xù)工作一端時間以保證晶圓鐵片上的浮灰被清除干凈，外部控制設(shè)備和風(fēng)機(jī)10可以利用藍(lán)牙通訊模塊設(shè)置通訊協(xié)議。[0028] 最后應(yīng)說明的幾點(diǎn)是：首先，在本申請的描述中,需要說明的是,除非另有規(guī)定和限定,術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,可以是機(jī)械連接或電連接,也可以是兩個元件內(nèi)部的連通,可以是直接相連,“上”、“下”、“左”、“右”等僅用于表示相對位置關(guān)系，當(dāng)被描述對象的絕對位置改變，則相對位置關(guān)系可能發(fā)生改變；[0029] 其次：本實用新型公開實施例附圖中，只涉及到與本公開實施例涉及到的結(jié)構(gòu)，其他結(jié)構(gòu)可參考通常設(shè)計，在不沖突情況下，本實用新型同一實施例及不同實施例可以相互組合；[0030] 最后：以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。