權(quán)利要求書： 1.一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，包括輸送機(jī)構(gòu)(100)，所述輸送機(jī)構(gòu)(100)包括說第一輸送機(jī)(110)、支架(120)、電動推桿(130)和第二輸送機(jī)(140)，所述支架(120)固定在所述第一輸送機(jī)(110)一側(cè)，所述電動推桿(130)固定在所述支架(120)表面，所述電動推桿(130)輸出端與所述第一輸送機(jī)(110)表面間隙配合，所述第二輸送機(jī)(140)間隔設(shè)置在所述第一輸送機(jī)(110)一側(cè)，所述第二輸送機(jī)(140)一側(cè)固定有撥桿(141)，所述撥桿(141)與所述第二輸送機(jī)(140)表面間隙配合；

分選機(jī)構(gòu)(200)，所述分選機(jī)構(gòu)(200)包括分選機(jī)本體(210)、轉(zhuǎn)動桿(220)、分選臺(230)、支撐桿(240)和電機(jī)(250)，所述分選機(jī)本體(210)設(shè)置在所述第一輸送機(jī)(110)和所述第二輸送機(jī)(140)之間，所述轉(zhuǎn)動桿(220)轉(zhuǎn)動連接在所述分選機(jī)本體(210)一側(cè)，所述分選臺(230)固定在所述轉(zhuǎn)動桿(220)一端，所述支撐桿(240)設(shè)有若干組，若干組所述支撐桿(240)間隔固定在所述分選臺(230)四周，所述支撐桿(240)與所述第一輸送機(jī)(110)在同一水平面上，所述電機(jī)(250)固定在所述分選機(jī)本體(210)一側(cè)，所述電機(jī)(250)與所述轉(zhuǎn)動桿(220)傳動連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述電動推桿(130)一端固定有推板(131)，所述推板(131)與所述第一輸送機(jī)(110)表面間隙配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述支撐桿(240)表面固定有防滑墊(241)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述支撐桿(240)下表面與所述第二輸送機(jī)(140)間隙配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述支撐桿(240)上表面與所述撥桿(141)下表面間隙配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述分選機(jī)本體(210)包括機(jī)體(211)和掃描部(212)，所述掃描部(212)設(shè)置在所述支撐桿(240)下方。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述機(jī)體(211)表面安裝有軸承座(2111)，所述轉(zhuǎn)動桿(220)固定在所述軸承座(2111)內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動桿(220)包括第一桿體(221)和第二桿體(222)，所述第二桿體(222)滑動插接在所述第一桿體(221)內(nèi)，所述第一桿體(221)一側(cè)安裝有螺栓(2211)，所述螺栓(2211)抵在所述第二桿體(222)表面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述第一桿體(221)一端安裝有傳動輪(2212)，所述傳動輪(2212)上設(shè)有傳動帶，所述傳動帶與所述電機(jī)(250)傳動連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置，其特征在于，所述第二輸送機(jī)(140)高度小于第一輸送機(jī)(110)高度。

說明書： 一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本申請涉及硅片分選裝置領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置。背景技術(shù)[0002] 元素硅是一種灰色、易碎、四價的非金屬化學(xué)元素，硅晶片又稱晶圓片，是由硅錠加工而成的，通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數(shù)以百萬計的晶體管，被廣泛應(yīng)用于

集成電路的制造，硅片的分選分兩大部份：外觀檢查(即崩邊、缺角、花片、破片類的目視)；

儀器檢測(電阻檢測、TT檢測及厚度檢測)。

[0003] 硅片分選機(jī)在對硅片進(jìn)行分選時，需要用機(jī)械手將硅片從傳送帶上移動到掃面臺上，待掃描完畢后再利用機(jī)械手將硅片移動到傳送帶上，過程較多導(dǎo)致分選效率低。

實用新型內(nèi)容

[0004] 為了彌補(bǔ)以上不足，本申請?zhí)峁┝艘环N用于硅片分選機(jī)的分選裝置，解決了分選時過程多導(dǎo)致分選效率低的問題。

[0005] 本申請是這樣實現(xiàn)的：[0006] 本申請?zhí)峁┮环N用于硅片分選機(jī)的分選裝置，包括輸送機(jī)構(gòu)和分選機(jī)構(gòu)。[0007] 所述輸送機(jī)構(gòu)包括說第一輸送機(jī)、支架、電動推桿和第二輸送機(jī)，所述支架固定在所述輸送機(jī)一側(cè)，所述電動推桿固定在所述支架表面，所述電動推桿輸出端與所述第一輸

送機(jī)表面間隙配合，所述第二輸送機(jī)間隔設(shè)置在所述第一輸送機(jī)一側(cè)，所述第二輸送機(jī)一

側(cè)固定有撥桿，所述撥桿與所述第二輸送機(jī)表面間隙配合。

[0008] 所述分選機(jī)構(gòu)包括分選機(jī)本體、轉(zhuǎn)動桿、分選臺、支撐桿和電機(jī)，所述分選機(jī)本體設(shè)置在所述第一輸送機(jī)和所述第二輸送機(jī)之間，所述轉(zhuǎn)動桿轉(zhuǎn)動連接在所述分選機(jī)本體一

側(cè)，所述分選臺固定在所述轉(zhuǎn)動桿一端，所述支撐桿設(shè)有若干組，若干組所述支撐桿間隔固

定在所述分選臺四周，所述支撐桿與所述第一輸送機(jī)在同一水平面上，所述電機(jī)固定在所

述分選機(jī)本體一側(cè)，所述電機(jī)與所述轉(zhuǎn)動桿傳動連接。

[0009] 在上述實現(xiàn)過程中，將待檢測硅片放置在第一輸送機(jī)表面，待硅片到達(dá)第一輸送機(jī)表面一側(cè)的電動推桿旁時，電動推桿將硅片推至分選臺一側(cè)的支撐桿表面，此時電機(jī)帶

動轉(zhuǎn)動桿轉(zhuǎn)動將硅片轉(zhuǎn)動到分選機(jī)本體表面的掃描部進(jìn)行掃描，不合格的產(chǎn)品直接被機(jī)械

臂取下，合格的將被分選臺移動到第二輸送機(jī)表面，被第二輸送機(jī)一側(cè)的撥桿撥下掉落在

第二輸送機(jī)表面隨后被輸送至收料處，該一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置免去了機(jī)械臂從

輸料臺和掃描臺上取料下料的步驟，分選效率高。

[0010] 在一種具體的實施方案中，所述電動推桿一端固定有推板，所述推板與所述第一輸送機(jī)表面間隙配合。

[0011] 在上述實現(xiàn)過程中，推板用于將第一輸送機(jī)表面的硅片推至支撐桿上。[0012] 在一種具體的實施方案中，所述支撐桿表面固定有防滑墊。[0013] 在上述實現(xiàn)過程中，防滑墊可以防止分選臺在轉(zhuǎn)動時硅片不會在支撐桿上滑落。[0014] 在一種具體的實施方案中，所述支撐桿下表面與所述第二輸送機(jī)間隙配合。[0015] 在上述實現(xiàn)過程中，支撐桿剛好能夠在第二輸送機(jī)表面經(jīng)過，降低硅片掉落的高度，起到保護(hù)作用。

[0016] 在一種具體的實施方案中，所述支撐桿上表面與所述撥桿下表面間隙配合。[0017] 在上述實現(xiàn)過程中，支撐桿經(jīng)過撥桿下方時剛好將表面的硅片撥下。[0018] 在一種具體的實施方案中，所述分選機(jī)本體包括機(jī)體和掃描部，所述掃描部設(shè)置在所述支撐桿下方。

[0019] 在上述實現(xiàn)過程中，掃描部將經(jīng)過上方的硅片進(jìn)行掃描。[0020] 在一種具體的實施方案中，所述機(jī)體表面安裝有軸承座，所述轉(zhuǎn)動桿固定在所述軸承座內(nèi)。

[0021] 在上述實現(xiàn)過程中，軸承座提供轉(zhuǎn)動桿的轉(zhuǎn)動支點。[0022] 在一種具體的實施方案中，所述轉(zhuǎn)動桿包括第一桿體和第二桿體，所述第二桿體滑動插接在所述第一桿體內(nèi)，所述第一桿體一側(cè)安裝有螺栓，所述螺栓抵在所述第二桿體

表面。

[0023] 在上述實現(xiàn)過程中，第一桿體和第二桿體可以調(diào)節(jié)分選臺的高度。[0024] 在一種具體的實施方案中，所述第一桿體一端安裝有傳動輪，所述傳動輪上設(shè)有傳動帶，所述傳動帶與所述電機(jī)傳動連接。

[0025] 在上述實現(xiàn)過程中，傳動輪和傳動帶用于傳動。[0026] 在一種具體的實施方案中，所述第二輸送機(jī)高度小于第一輸送機(jī)高度。[0027] 在上述實現(xiàn)過程中，保證了分選臺外側(cè)的支撐桿在第二輸送機(jī)和第一輸送機(jī)表面能順利上下料。

附圖說明[0028] 為了更清楚地說明本申請實施方式的技術(shù)方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本申請的某些實施例，因此不應(yīng)被看作

是對范圍的限定，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根

據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

[0029] 圖1是本申請實施方式提供的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置第一視角結(jié)構(gòu)示意圖；

[0030] 圖2是本申請實施方式提供的分選機(jī)構(gòu)第一視角結(jié)構(gòu)示意圖；[0031] 圖3為本申請實施方式提供的一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置第二視角結(jié)構(gòu)示意圖；

[0032] 圖4為本申請實施方式提供的分選機(jī)構(gòu)第二視角結(jié)構(gòu)示意圖。[0033] 圖中：100?輸送機(jī)構(gòu)；110?第一輸送機(jī)；120?支架；130?電動推桿；131?推板；140?第二輸送機(jī)；141?撥桿；200?分選機(jī)構(gòu)；210?分選機(jī)本體；211?機(jī)體；2111?軸承座；212?掃描

部；220?轉(zhuǎn)動桿；221?第一桿體；2211?螺栓；2212?傳動輪；222?第二桿體；230?分選臺；240?

支撐桿；241?防滑墊；250?電機(jī)。

具體實施方式[0034] 下面將結(jié)合本申請實施例中的附圖，對本申請實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行描述。[0035] 為使本申請實施方式的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本申請實施方式中的附圖，對本申請實施方式中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實

施方式是本申請一部分實施方式，而不是全部的實施方式?；诒旧暾堉械膶嵤┓绞?，本領(lǐng)

域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施方式，都屬于本申請

保護(hù)的范圍。

[0036] 因此，以下對在附圖中提供的本申請的實施方式的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本申請的范圍，而是僅僅表示本申請的選定實施方式?；诒旧暾堉械膶嵤┓绞?，本領(lǐng)

域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施方式，都屬于本申請

保護(hù)的范圍。

[0037] 應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號和字母在下面的附圖中表示類似項，因此，一旦某一項在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

[0038] 在本申請的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“順時

針”、“逆時針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于

描述本申請和簡化描述，而不是指示或暗示所指的設(shè)備或元件必須具有特定的方位、以特

定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本申請的限制。

[0039] 此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者

隱含地包括一個或者更多個該特征。在本申請的描述中，“多個”的含義是兩個或兩個以上，

除非另有明確具體的限定。

[0040] 在本申請中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是直接相

連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)

系。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本申請中的具體

含義。

[0041] 在本申請中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過它

們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特

征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在

第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示

第一特征水平高度小于第二特征。

[0042] 實施例[0043] 請參閱圖1，本申請?zhí)峁┮环N技術(shù)方案：一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置包括輸送機(jī)構(gòu)100和分選機(jī)構(gòu)200，其中分選機(jī)構(gòu)200設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)100之間。

[0044] 請參閱圖1和2，輸送機(jī)構(gòu)100包括說第一輸送機(jī)110、支架120、電動推桿130和第二輸送機(jī)140，支架120固定在第一輸送機(jī)110一側(cè)，電動推桿130固定在支架120表面，電動推

桿130輸出端與第一輸送機(jī)110表面間隙配合，電動推桿130一端固定有推板131，推板131與

第一輸送機(jī)110表面間隙配合，第二輸送機(jī)140間隔設(shè)置在第一輸送機(jī)110一側(cè)，第二輸送機(jī)

140一側(cè)固定有撥桿141，撥桿141與第二輸送機(jī)140表面間隙配合，第二輸送機(jī)140高度小于

第一輸送機(jī)110高度。

[0045] 請參閱圖1、2、3和4，分選機(jī)構(gòu)200包括分選機(jī)本體210、轉(zhuǎn)動桿220、分選臺230、支撐桿240和電機(jī)250，分選機(jī)本體210設(shè)置在第一輸送機(jī)110和第二輸送機(jī)140之間，分選機(jī)本

體210包括機(jī)體211和掃描部212，掃描部212設(shè)置在支撐桿240下方，機(jī)體211表面安裝有軸

承座2111，轉(zhuǎn)動桿220固定在軸承座2111內(nèi)，轉(zhuǎn)動桿220轉(zhuǎn)動連接在分選機(jī)本體210一側(cè)，轉(zhuǎn)

動桿220包括第一桿體221和第二桿體222，第二桿體222滑動插接在第一桿體221內(nèi)，第一桿

體221一側(cè)安裝有螺栓2211，螺栓2211抵在第二桿體222表面，第一桿體221一端安裝有傳動

輪2212，傳動輪2212上設(shè)有傳動帶，傳動帶與電機(jī)250傳動連接，分選臺230固定在轉(zhuǎn)動桿

220一端，支撐桿240設(shè)有若干組，支撐桿240表面固定有防滑墊241，若干組支撐桿240間隔

固定在分選臺230四周，支撐桿240下表面與第二輸送機(jī)140間隙配合，支撐桿240上表面與

撥桿141下表面間隙配合，支撐桿240與第一輸送機(jī)110在同一水平面上，電機(jī)250固定在分

選機(jī)本體210一側(cè)，電機(jī)250與轉(zhuǎn)動桿220傳動連接。

[0046] 具體的，該一種用于硅片分選機(jī)的分選裝置的工作原理：工作時，將待檢測硅片放置在第一輸送機(jī)110表面，待硅片到達(dá)第一輸送機(jī)110表面一側(cè)的電動推桿130旁時，電動推

桿130將硅片推至分選臺230一側(cè)的支撐桿240表面，此時電機(jī)250帶動轉(zhuǎn)動桿220轉(zhuǎn)動將硅

片轉(zhuǎn)動到分選機(jī)本體210表面的掃描部212進(jìn)行掃描，不合格的產(chǎn)品直接被機(jī)械臂取下，合

格的將被分選臺230移動到第二輸送機(jī)140表面，被第二輸送機(jī)140一側(cè)的撥桿141撥下掉落

在第二輸送機(jī)140表面隨后被輸送至收料處。

[0047] 以上僅為本申請的實施例而已，并不用于限制本申請的保護(hù)范圍，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本申請可以有各種更改和變化。凡在本申請的精神和原則之內(nèi)，所作的任何

修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本申請的保護(hù)范圍之內(nèi)。應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號和字母

在下面的附圖中表示類似項，因此，一旦某一項在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不

需要對其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

[0048] 以上所述，僅為本申請的具體實施方式，但本申請的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本申請揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵

蓋在本申請的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本申請的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。