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超純、超細(xì)硅粉及其制作方法

958   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:31:24
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料,具體地說是一種生產(chǎn)超細(xì)、超純硅粉的方法。該硅粉的主要成分為:二氧化硅大于99.96%,鐵小于0.003%,硅粉顆粒的直徑小于1微米,在硅粉顆粒的外表面包覆有硅烷耦聯(lián)劑。這種超純、超細(xì)硅粉的制作方法包括:a.材料預(yù)處理;b.焙燒及煅燒;c.研磨:經(jīng)過冷卻后的礦石進(jìn)入柱磨機(jī)內(nèi)研磨成325目的硅粉;d.篩分及磁選:將上述硅粉在篩分機(jī)上篩選,小于325目的硅粉再進(jìn)入磁選機(jī)內(nèi)進(jìn)行磁選,以除去硅粉中的磁性物質(zhì);e.化學(xué)提純:將除去磁性物質(zhì)的硅粉放入反應(yīng)容器內(nèi),與混合有稀氫氟酸與稀鹽酸的稀酸溶液發(fā)生反應(yīng);f.干燥;g.超音速氣流粉碎與改性。這種方法有效降低生產(chǎn)成本、提高硅粉的品質(zhì)。
聲明:
“超純、超細(xì)硅粉及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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