本發(fā)明涉及一種地質(zhì)物探波形檢測傳感器,所述傳感器包含有芯體和信號調(diào)理電路,所述芯體由晶元襯底(101)以及豎向安裝于晶元襯底(101)上的
多晶硅彈簧(102)構(gòu)成,所述芯體的晶元襯底(101)引出兩根信號線,所述芯體通過信號線與信號調(diào)理電路相連。本發(fā)明地質(zhì)物探波形檢測傳感器,檢測頻率范圍大且能夠有效消除諧振波形。
聲明:
“地質(zhì)物探波形檢測傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)