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冶金級高效多晶硅片的制備方法

965   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:32:44
本發(fā)明公開了冶金級高效多晶硅片的制備方法,將冶金硅、添加劑和硼的固化劑混合后置入爐膛中,抽真空,充入氬氣,爐膛升溫,使冶金硅熔化為硅熔體,保持硅熔體溫度在900?1000℃,恒溫熔煉3.5?4.5h;爐膛內(nèi)抽真空,硅熔體溫度保持在900?1000℃,并在氬等離子體流量為280?320ml/min,真空熔煉0.3?0.8h;爐膛抽真空,同時調(diào)整硅熔體溫度到1400?1500℃,保溫并靜置、降溫至室溫得到硅錠;再經(jīng)過切割、表面清洗,即得冶金級高效多晶硅片。本發(fā)明通過高效冶金硅片轉(zhuǎn)換效率提升技術(shù),通過高還原性添加劑和硼的固化劑,并延長固化時間,保證產(chǎn)品能達(dá)到99.999%,提高少子壽命,降低生產(chǎn)成本。
聲明:
“冶金級高效多晶硅片的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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