高含鈧量鋁鈧合金靶材及靶材前級材料制備方法,步驟包括(1)制取自耗熔煉的坯棒:將鋁顆粒與塊狀鈧混合后壓坯,獲得坯棒;該坯棒的密度是60%—70%,鋁顆粒與塊狀鈧的用量為坯棒合金化后合金中鈧含量為30at%—45at%;(2)自耗熔煉:將坯棒置入自耗真空電弧熔煉爐進(jìn)行自耗熔煉,獲得粗坯;(3)電子轟擊熔煉爐熔煉:將所述粗坯置入電子轟擊熔煉爐進(jìn)行熔煉,獲得高鈧鋁鈧合金靶材或
粉末冶金制靶前級材料。本發(fā)明通過集成創(chuàng)新工藝,克服了現(xiàn)有技術(shù)工藝存在的諸多缺陷,利用各相關(guān)工藝的優(yōu)點實現(xiàn)協(xié)同作用,可以制備出高品質(zhì)的高鈧鋁鈧合金靶材,或為粉末冶金法制備高鈧鋁鈧合金靶材提供優(yōu)質(zhì)前級材料。
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“高含鈧量鋁鈧合金靶材及靶材前級材料制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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