本發(fā)明一種工業(yè)硅除硼的方法屬于用物理冶金技術(shù)提純
多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種利用電子束熔煉技術(shù)將工業(yè)硅中的雜質(zhì)硼去除的方法。該方法將工業(yè)硅料放入純度為99.9%以上的石英環(huán)中,在電子束作用下熔煉,利用高真空度將氧化硼去除。先將工業(yè)硅料放入石英環(huán)中;再將石英環(huán)放入水冷銅坩堝中,關(guān)閉真空裝置蓋。其所采用裝置由真空裝置蓋、真空圓桶構(gòu)成裝置的外殼,真空圓桶內(nèi)腔即為真空室??梢詫⒎帜禂?shù)較大的硼用電子束熔煉去除,有效提高了多晶硅的純度,具有效率高、裝置簡單、節(jié)約能源的優(yōu)點。
聲明:
“去除工業(yè)硅中硼的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)