本發(fā)明一種
多晶硅定向凝固設(shè)備屬于用物理冶金技術(shù)提純多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種用定向凝固方法熔煉多晶硅的設(shè)備。該設(shè)備外殼的內(nèi)腔為真空室,真空室內(nèi)由上耐熱纖維保溫套、方形側(cè)耐熱纖維保溫套、下耐熱纖維保溫套構(gòu)成封閉的保溫區(qū)間;在下耐熱纖維保溫套中部開有一個錐形孔,與拉桿固定相連的耐熱纖維散熱屏插入其中;多晶硅定向凝固設(shè)備有一個支撐臺,它由框架形支架和安裝在框架形支架上的左、右滑動拉桿構(gòu)成;設(shè)備外殼固定在框架形支架上。該設(shè)備有效控制液態(tài)多晶硅的散熱方式,保證溫度梯度始終保持一個方向,使液態(tài)多晶硅沿底部單一方向散熱,完成多晶硅的定向凝固。具有能耗低、側(cè)境污染小的特點。
聲明:
“多晶硅定向凝固設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)