本發(fā)明涉及一種Ni?Mn?Ti基多元合金靶材及其制備方法和薄膜。首先電弧熔煉制備合金錠子,提高了合金的純度,致密性,使多種元素得到充分的合金化;后續(xù)通過熔體快淬以一定輪速甩出薄帶,降低了材料內(nèi)部的孔隙率,簡化了后續(xù)熱處理工藝,并細化晶粒,使元素分布更趨于均勻;然后將薄帶研磨成合金粉末,有效解決了單個元素熔點過低或過高導(dǎo)致的成分不均,在保證原有磁性下,拓寬了相變溫跨;最后通過熱壓制備四元合金靶材。本發(fā)明集電弧熔煉與高溫?zé)釅褐苽鋬?yōu)點為一體,并結(jié)合熔體快淬,從而能夠制備成分均勻,空隙率低,純度高,晶粒尺寸小,相變溫區(qū)跨度寬的靶材;本發(fā)明的靶材采用NiMnTi基合金,制備的薄膜具有良好的機械性能,方便后續(xù)應(yīng)力調(diào)控,獲得多功能薄膜。
聲明:
“Ni-Mn-Ti基多元合金靶材及其制備方法和薄膜” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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