一種熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質(zhì)的方法,涉及
多晶硅材料的提純方法。提供一種選擇性高、工藝簡單的熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質(zhì)的方法。Si-M合金陽極的制備,電解質(zhì)預(yù)處理,電解槽組裝,熔鹽電解提純多晶硅。采用真空熔煉Si-M合金,作為可溶性陽極;以復(fù)合氯化物-氧化物復(fù)合熔鹽作為新型低溫電解質(zhì)體系;以金屬、硬質(zhì)合金、太陽能級多晶硅或高純石墨作為陰極。進(jìn)一步降低了電解溫度和電解電壓,保證了電解過程的高效、穩(wěn)定、低能耗運(yùn)行,對多晶硅中雜質(zhì)元素B和P的高選擇性提純。
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