本實(shí)用新型屬于
半導(dǎo)體材料制備領(lǐng)域,具體涉及一種用于
太陽(yáng)能電池的高純
多晶硅提純裝置,包括:熔煉造渣裝置、階梯除磷裝置、分步氧化裝置和精煉凝固裝置。本實(shí)用新型將硅液經(jīng)造渣除雜后,進(jìn)入階梯除磷裝置,當(dāng)硅液從硅液流槽口流出時(shí),用電子槍的高能電子束轟擊從槽口流出的硅液,從而快速的除去硅液中的磷雜質(zhì)。在分步氧化裝置內(nèi)用不同的精練氣體分步作用,除去硅液中的雜質(zhì)硼、碳、金屬等雜質(zhì),再通過(guò)脫氣精練、定向凝固后,切除硅錠的高雜質(zhì)部分,得到高純度的太陽(yáng)能級(jí)多晶硅產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)高純多晶硅的連續(xù)工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“用于太陽(yáng)能電池的高純多晶硅提純裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)