本發(fā)明公開了一種大尺寸釕基合金濺射靶材及其制備方法,釕基合金靶材包括Al,Co,Cr等元素中的一種或幾種,其余為Ru,釕基合金靶材為圓餅狀,其直徑不小于100mm,致密度不低于99.5%,且其中心區(qū)域與邊緣區(qū)域的致密度差不超過0.3%,且Ru與其他合金元素形成的第二相均勻的分布在Ru基體相中。所述的釕基合金濺射靶材的制備方法,包括通過氣體霧化法制備熔點偏低的脆性相釕基合金粉末,再通過氣流磨處理該脆性相獲得了細小均勻的合金粉末,最后經(jīng)粉末燒結(jié)制備出直徑尺寸在100mm以上的釕基合金靶材,本發(fā)明獲得的合金靶材雜質(zhì)含量低,致密度高且均勻,成份分布均勻,晶粒細小均勻,使用該靶材濺射成膜的厚度均勻性,性能穩(wěn)定以及減少了濺射過程的異常放電現(xiàn)象等。
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