本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體
芯片廢料回收的方法,涉及回收技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體芯片廢料回收的方法,包括以下步驟:(1)將半導(dǎo)體芯片廢料預(yù)處理,得到半導(dǎo)體芯片廢料粉末;(2)將半導(dǎo)體芯片廢料粉末和酸混合,得到混合物;將氧化劑滴加到所述混合物中進(jìn)行反應(yīng),過(guò)濾得到濾渣和濾液;所述氧化劑的滴加速度為0.5?1mL/min;(3)將所述濾渣和濾液分別處理,完成半導(dǎo)體芯片廢料的回收。本發(fā)明提供的一種半導(dǎo)體芯片廢料回收的方法,整個(gè)工藝考慮到廢料中有價(jià)金屬以及有害元素的分離回收,具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)境效益。
聲明:
“半導(dǎo)體芯片廢料回收的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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