一種新型的
多晶硅熔煉爐,使用了石英管作為殼體密封,極大的降低了系統(tǒng)的制造難度與費用,并使系統(tǒng)簡單可用。該爐包括水冷頂蓋、水冷底蓋、石英管、下降機構(gòu)、感應(yīng)加熱器、坩堝、保溫設(shè)備。使用石英管做為殼體密封,使?fàn)t體內(nèi)情況可以觀察到,同時也降低爐體制造時間與成本。
聲明:
“新型的多晶硅熔煉爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)