本發(fā)明涉及一種高純多孔硅制備的方法,屬于高純硅制備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將硅原料粉碎細(xì)磨得到硅粉,利用金屬輔助化學(xué)刻蝕法在超聲外場條件下對硅粉進(jìn)行刻蝕預(yù)處理,采用洗滌劑清洗掉硅粉表面的金屬納米顆粒,過濾分離、烘干得到多孔硅粉;將多孔硅粉置于RTP爐中進(jìn)行快速熱處理,得到熱處理多孔硅粉;將熱處理多孔硅粉置于酸液中,在溫度10~80℃下攪拌浸出1~500min,過濾后經(jīng)洗滌和烘干處理得到高純多孔硅。本方法金屬輔助化學(xué)刻蝕協(xié)同超聲外場得到的多孔硅粉進(jìn)行RTP熱處理吸雜,使內(nèi)部的雜質(zhì)再次析出暴露,再通過酸液浸出得到高純多孔硅。
聲明:
“高純多孔硅制備的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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