本發(fā)明涉及一種去除金屬硅中雜質(zhì)磷和硼的方法,該方法包括以下步驟:將硅塊裝入中頻感應(yīng)爐
石墨坩堝中加熱熔化;向硅液中投入造渣劑,繼續(xù)加熱使造渣劑完全熔化;將帶有通氣孔道的石墨棒預(yù)熱,待預(yù)熱充分后將通氣棒插入到硅液中,通氣攪拌;待反應(yīng)完全后,保溫靜置;將硅液倒入帶加熱功能的結(jié)晶器中凝固;待硅錠冷卻后,去除硅錠表面渣塊;將硅錠破碎、磨粉,對(duì)硅粉進(jìn)行酸洗、清洗和烘干,得到提純后的低磷、硼
多晶硅。該方法除磷、硼效果好,降低了提純多晶硅的成本。
聲明:
“去除金屬硅中雜質(zhì)磷和硼的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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