一種摻雜氯化物的渣系去除工業(yè)硅中硼磷雜質(zhì)的方法,涉及工業(yè)硅的提純方法。將工業(yè)硅加入
石墨坩堝中;啟動(dòng)中頻感應(yīng)電源加熱,按功率增加依次添加造渣劑到石墨坩堝中;待物料熔化后,維持功率不變,反應(yīng)溫度控制在1600~1800℃,使硅液和造渣劑混合反應(yīng);造渣充分后,降低中頻頻率,將渣系倒入應(yīng)接水箱中,水冷后硅與渣基本分離,取樣經(jīng)等離子電感耦合質(zhì)譜儀分析測(cè)量硅中B,P雜質(zhì)含量。采用摻雜氯化物作為造渣劑的組分,使得渣硅更容易分離,同時(shí)對(duì)硅中雜質(zhì)B、P有非常明顯的去除效果,造渣完成后結(jié)合定向凝固和酸洗等工藝,可得到太陽能級(jí)
多晶硅。整個(gè)工藝流程簡(jiǎn)單快捷,安全性能好,非常適用于工業(yè)化生產(chǎn)。
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