一種采用
稀土氧化物去除工業(yè)硅中硼磷雜質(zhì)的方法,涉及一種
半導(dǎo)體材料工業(yè)硅。提供一種采用稀土氧化物去除工業(yè)硅中硼磷雜質(zhì)的方法。將工業(yè)硅原料和造渣劑放進(jìn)
石墨坩堝;抽真空,啟動(dòng)中頻感應(yīng)電源加熱,使石墨坩堝中的硅料和渣料熔化;待石墨坩堝內(nèi)物料全部熔化后,將坩堝上方的石墨通氣棒預(yù)熱;向體系中開始通入惰性氣體,待預(yù)熱充分后將通氣棒開始通氣攪拌;渣過程中,通過調(diào)整中頻功率,使反應(yīng)溫度為1550~1850℃;待造渣充分后將通氣棒升離坩堝,然后通過翻轉(zhuǎn)澆鑄將硅液倒入石墨模具中,靜置,冷卻后取出硅錠,去除頭尾雜質(zhì)富集部分,得到提純后的
多晶硅錠,測(cè)量熔煉后的硼、磷雜質(zhì)含量。
聲明:
“采用稀土氧化物去除工業(yè)硅中硼磷雜質(zhì)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)