本發(fā)明涉及一種由冶金硅制備三氯
硅烷和四氯化硅的多級方法,其中,在第一步中,由冶金硅制備三氯硅烷和四氯化硅,在第二步中,進一步處理四氯化硅以形成最終產(chǎn)物三氯硅烷。本發(fā)明還涉及一種可在其中整體實施該方法的裝置。
聲明:
“由冶金硅制備三氯硅烷的閉環(huán)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)