接觸端頭結(jié)構(gòu)被制備在犧牲襯底上,以便以后連接至互連元件,互連元件包括復(fù)合互連元件、單體互連元件、探針板的鎢針、膜板探針的接觸凸臺以及類似元件。端頭結(jié)構(gòu)之間的空間關(guān)系可按照平版印刷方式以很高精度公差界定。端頭結(jié)構(gòu)的冶金術(shù)與要通過銅焊、鍍敷或類似方法連接的互連元件的冶金術(shù)無關(guān)。接觸端頭結(jié)構(gòu)可以容易地形成拓?fù)?小的、精確的、凸出的、非平面的)接觸結(jié)構(gòu),例如呈截棱錐形,以便此后更好地壓接式電連接至電子元件的端子。本申請描述了細(xì)長的接觸端頭結(jié)構(gòu),其在使用時起到彈性接觸元件的作用,因此不需要連接至彈性接觸元件??傮w上講,本發(fā)明的目的是制造(預(yù)制備)較“精確”的接觸端頭結(jié)構(gòu)(“端頭”)并且將它們連接至較“不精確”的互連元件,以改進(jìn)最終形成的“帶端頭的”互連元件的總體能力。
聲明:
“用于微電子互連元件的接觸端頭結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)