一種靶組件,其中濺射材料不是用焊接法或其它冶金方法接合于襯板(20)上的。而是以機械方式(例如用螺栓(45)將靶(30)連接于適配器(32)上,該靶(30)整個由單一的濺射材料制成,該適配器本身被永久性地固定在真空室(10)上。結果是,可以容易地從真空室上卸下和更換濺射靶,而并不需要卸下和更換襯板。
聲明:
“機械連接式濺射靶及其適配器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)