本發(fā)明提供一種柔性蠕動泵，包括泵單元，固定單元與連接單元，其中泵單元為采用驅(qū)動薄膜制作的囊狀結(jié)構(gòu)，并含有至少一個開口用于流體的流入流出的通道。智能軟材料的薄膜在外加激勵下由于本征應(yīng)變產(chǎn)生舒展與收縮產(chǎn)生蠕動泵的驅(qū)動力，吸入與排出液體。固定單元為剛性結(jié)構(gòu)用于支撐泵單元和連接單元。連接單元為柔性結(jié)構(gòu)，將泵單元連接成鏈，保證整個蠕動泵的柔性特征，其內(nèi)含有自動閥門控制流體進出。固定單元用于支撐泵單元。本發(fā)明借助驅(qū)動薄膜材料采用特定的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了蠕動泵結(jié)構(gòu)的進一步簡化，提高了蠕動泵的穩(wěn)定性，可靠性，高效性，經(jīng)濟性并降低工作噪音。本發(fā)明未來可以廣泛應(yīng)用于化工、采礦冶金，造紙、油漆涂料、食品、陶瓷、石油、水處理、制藥、醫(yī)療器械領(lǐng)域。特別是在人造器官方面將會發(fā)揮重要的作用。