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旋轉(zhuǎn)和吹氣誘導(dǎo)反向凝固提純多晶硅的方法及設(shè)備

761   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:45:35
本發(fā)明屬于冶金提純技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種反向誘導(dǎo)凝固的方法及設(shè)備。該方法在真空環(huán)境中,將洗凈的硅料加熱至完全熔化定向凝固;待凝固完成80~90%時,轉(zhuǎn)動坩堝使上層硅熔體在離心力的作用下向坩堝側(cè)壁聚集,同時向上層剩余硅熔體頂端中心吹入惰性氣體,使上層剩余硅熔體在氣流的作用下從坩堝中心向側(cè)壁聚集并迅速反向凝固,在坩堝側(cè)壁處完全凝固;整個硅錠冷卻后去除坩堝側(cè)壁凝固得到的上層鑄錠,剩余的鑄錠為高純硅鑄錠,本發(fā)明的設(shè)備是在原有定向凝固設(shè)備的基礎(chǔ)之上增加坩堝旋轉(zhuǎn)和吹氣的功能,本發(fā)明減少了雜質(zhì)的反擴(kuò)散,提高了鑄錠的出成率,減少了工藝環(huán)節(jié),降低了能耗,設(shè)備改造安裝方便,有效去除鑄錠尾部富集的雜質(zhì),節(jié)約生產(chǎn)周期和成本。?
聲明:
“旋轉(zhuǎn)和吹氣誘導(dǎo)反向凝固提純多晶硅的方法及設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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