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散裂靶靶球表面金屬等離子體浸沒(méi)離子注入與沉積復(fù)合強(qiáng)化處理方法

989   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:46:06
本發(fā)明涉及粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域,更具體地公開(kāi)了一種散裂靶靶球表面金屬等離子體浸沒(méi)離子注入與沉積復(fù)合強(qiáng)化處理方法,所述強(qiáng)化處理方法包括散裂靶靶球的預(yù)處理,TiSiN、TiAlN、TiAlSiN、TiAlSiN/h?BN離子注入與沉積等步驟。本發(fā)明解決了粉末冶金技術(shù)制備的非金屬間化合物形態(tài)的散裂靶鎢鐵鎳靶球磨損率高,薄膜與基體之間殘余應(yīng)力大、膜基結(jié)合力差和單一膜層承載能力差等問(wèn)題,有效抑制了薄膜表面剝落,并能夠制備出一種高膜基結(jié)合力,高硬度、摩擦系數(shù)低、耐磨損能力強(qiáng)的梯度功能復(fù)合薄膜。
聲明:
“散裂靶靶球表面金屬等離子體浸沒(méi)離子注入與沉積復(fù)合強(qiáng)化處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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