三柵極式離子滲鍍?cè)O(shè)備及工藝屬于表面冶金范疇。具體來(lái)講是一種在金屬、非金屬固體基材表面形成鍍層、擴(kuò)散層和擴(kuò)散層與鍍層復(fù)合層的設(shè)備和工藝。其特征在于:在可以抽成真空容器中,同軸設(shè)置兩個(gè)欲濺射元素靶柵極和一個(gè)欲沉積或被滲元素的工件柵極,既形成具有PLUME效應(yīng)、“燒孔效應(yīng)”的三柵極柵極結(jié)構(gòu)。本設(shè)備配置三套高壓直流電源,靶柵極和工件柵極分別接在各自直流電源的陰極,三個(gè)電源的陽(yáng)極接在爐罩和爐底板上。系統(tǒng)工作時(shí),利用三柵極PLUME效應(yīng)、“燒孔效應(yīng)”的濺射轟擊加熱作用,實(shí)現(xiàn)欲滲元素(金屬或非金屬的)在工件基材表面(金屬或非金屬的)的沉積或滲入。
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