一種制備氮化鈦復(fù)合陶瓷的工藝屬于金屬材料表面冶金改性技術(shù)的范疇。其特征在于是,在真空容器內(nèi),將欲滲金屬源極以金屬鈦絲的形式插入到平板或圓桶中且鈦絲與鈦絲間隔8-15mm,長度為10-50mm,置于距離被滲金屬工件10-28mm處,首先將氬氣通入到真空容器中,在低電壓作用下將欲滲金屬鈦絲以鈦的離子、原子的形式高密度濺射出來,吸附在被轟擊加熱到一定溫度的工件表面上,形成一定厚度的鈦的滲鍍擴散層。然后通入一定混合比的氬氣和氮氣(或氨氣)在鈦被濺射和擴散的同時使氮與鈦元素在工件表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),形成TiN的晶核并長大,其TiN合金層和擴散層厚度高達10μm以上,鈦和氮的成分也由高到低向內(nèi)呈梯度分布,使表面TiN合金層和基體有良好的結(jié)合強度。
聲明:
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