一種檢測(cè)金屬原子在非晶合金擴(kuò)散深度的新方法，首先將非晶合金加工，打磨，在丙酮中進(jìn)行超聲波清洗和脫脂，放置于磁控濺射鍍膜設(shè)備的真空爐中；進(jìn)行擴(kuò)散退火熱處理實(shí)驗(yàn)前，鍍膜后的樣品被密封在真空玻璃管內(nèi)，保溫，擴(kuò)散退火熱處理之后，試樣快速冷卻至室溫；采用二次離子質(zhì)譜儀對(duì)金屬/非晶合金擴(kuò)散偶的原子分布情況進(jìn)行分析，測(cè)試過(guò)程離子源對(duì)樣品進(jìn)行逐層剝離，通過(guò)對(duì)二次離子的質(zhì)量分析，獲得樣品表層元素成分及元素沿縱向深度的分布狀態(tài)；將TEM結(jié)果相結(jié)合，獲得不同原子在非晶合金中擴(kuò)散濃度與深度的變化曲線(xiàn)；最終可推算出擴(kuò)散系數(shù)，本發(fā)明使金屬原子與非晶合金最終達(dá)到原子級(jí)別的冶金結(jié)合，基體并保持非晶態(tài)，獲得更為可靠準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。