本發(fā)明公開(kāi)了一種弧光放電離子滲氮技術(shù)和滲氮爐。在爐頂或爐壁安裝陰極電弧源,用陰極電弧源產(chǎn)生的弧光等離子體中的電子流把氮?dú)怆婋x,用獲得高密度的氮離子對(duì)工件進(jìn)行清洗和進(jìn)行弧光放電離子滲氮。滲氮速度比輝光放電離子滲氮的速度快。是一種把弧光放電等離子體引入表面冶金的技術(shù)。
聲明:
“弧光放電離子滲氮技術(shù)和滲氮爐” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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