本發(fā)明公開了一種無源真空維持合金的制備方法及其應(yīng)用,材料合金配方如下:合金配方的主體元素為52wt%?63wt%,Y為5wt%?30wt%,Mo為18?22wt%,W為0.1wt%?5wt%,Re為0.1wt%?4wt%,所述Hf為0?1.8wt%,所述Nb為0?1.8wt%,所述Ni為0.1wt%?1.8wt%。將純度為99.5~99.95%的原材料,按上述合金配方進(jìn)行配料,其原材料分別為Ti、Zr、Y、Mo、W、Re、Hf、Nb、Ni,對(duì)配料進(jìn)行熔煉制得無源真空維持合金的合金靶坯;或者用
粉末冶金燒結(jié)法制得合金靶坯,將合金靶坯進(jìn)行機(jī)械加工,制得所述2英寸~12英寸的合金靶材。本發(fā)明用制備的合金,其比表面高和孔隙度大,源于合金中加入了具有d電子軌道的W、使得合金的吸氣平衡壓降低,有利于合金的吸氣性能,能夠有效的維持無源。
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“無源真空維持合金的制備方法及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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