本發(fā)明提出了基于地質(zhì)勘探的微震動(dòng)測(cè)試儀,設(shè)置調(diào)制器產(chǎn)生兩路幅值和頻率相同,相位相反的高頻載波信號(hào),并分別連接到MEMS傳感器中差分電容的兩端,差分電容輸出信號(hào)再經(jīng)過相敏解調(diào)得到加速度信號(hào),一方面,為了提高微震動(dòng)測(cè)試儀的靈敏度,以及便于后級(jí)電路可有效將MEMS傳感器輸出信號(hào)從信號(hào)噪聲中提取出來;另一方面采用雙路載波的調(diào)制方式,在C?V轉(zhuǎn)換器開環(huán)增益夠大時(shí),C?V轉(zhuǎn)換器內(nèi)置放大器的反相輸入端電平接近于0,即反相輸入端的輸入電容和雜散電容對(duì)測(cè)量電路的影響就非常小,同時(shí)該電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,兩路高頻載波在參數(shù)上一致,避免因參數(shù)不匹配產(chǎn)生誤差。
聲明:
“基于地質(zhì)勘探的微震動(dòng)測(cè)試儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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