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生產(chǎn)三氯硅烷的方法

1058   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 14:50:09
利用氯化氫、冶金級或化學級硅原料的主反應的受污染副產(chǎn)物和/或改良西門子法的副產(chǎn)物制備高純度三氯硅烷(TCS)的方法,所述副產(chǎn)物包括含有低沸點雜質(zhì)如二氯硅烷(DCS)的“不純的”TCS和含有高沸點雜質(zhì)的“不純的”STC。首先將“不純的”STC純化,使一部分與含有DCS的“不純的”TCS反應以生成向TCS純化過程的附加的TCS原料。將另一部分純化的STC氫化并再轉(zhuǎn)化為TCS,從而提供向TCS純化過程的另一原料。所生產(chǎn)的高純度TCS的總的凈產(chǎn)率相對于現(xiàn)有技術得到提高。
聲明：
“生產(chǎn)三氯硅烷的方法” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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