本發(fā)明屬于冶金熔煉領(lǐng)域,特別涉及一種電子束熔煉
多晶硅除氧與鑄錠耦合的方法及設(shè)備,該方法首先將爐體和電子槍抽真空,啟動(dòng)熔煉用電子槍對(duì)多晶硅料進(jìn)行電子束熔煉,熔煉初步去除雜質(zhì)氧;在輻射用電子槍作用下保持液態(tài)進(jìn)一步除氧,最后通過(guò)水冷傳輸帶引導(dǎo)進(jìn)入鑄錠裝置中,進(jìn)行定向長(zhǎng)晶,得到多晶硅鑄錠,該設(shè)備包括電子束熔煉組件和鑄錠耦合組件,鑄錠耦合組件包括鑄錠裝置,鑄錠裝置位于水冷傳輸帶下方,且水冷傳輸帶的導(dǎo)流口位于鑄錠裝置的石英坩堝中心的正上方,本發(fā)明首次提出了電子束熔煉除氧的工藝方法和用途,實(shí)現(xiàn)了電子束除氧的效果,同時(shí)結(jié)合鑄錠耦合,降低了鑄錠加熱原料所需的能耗,大大提高了生產(chǎn)效率。
聲明:
“電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的方法及設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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