增強(qiáng)鍍膜玻璃耐磨和耐腐蝕性能的靶材及其制備方法,靶材的主要成分是鋯基材料,靶材形狀和規(guī)格不受限制,可以制成旋轉(zhuǎn)靶材和平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材用等冷噴涂和等離子噴涂工藝制備,平面靶材用
粉末冶金工藝制備靶塊,再拼接綁定成大尺寸靶材;靶材結(jié)構(gòu)致密、成分均勻、導(dǎo)電性好;密度為(5.3~5.9)g/cm3,相對(duì)密度均>90%。該靶材具有良好的濺射性能,弧光穩(wěn)定,濺鍍速率為(0.5~1.0)nm*m/min,鍍制的鋯基膜層作為保護(hù)膜,和相鄰膜層之間有良好的結(jié)合力,具有良好的耐磨性和耐候性, 玻璃鍍膜后不需要膜面保護(hù),可長(zhǎng)期儲(chǔ)存,便于異地深加工,并有效防止鍍膜玻璃在后續(xù)深加工過程中劃傷報(bào)廢,合片前不需邊部除膜。
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“增強(qiáng)鍍膜玻璃耐磨和耐腐蝕性能的濺射靶材及制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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