仿生硅化鉬梯度疊層復合納米涂層制備工藝,利用雙陰極等離子濺射沉積法,在鈦合金工件表面形成致密的納米晶硅化物層,其中對雙陰極等離子濺射工藝參數(shù)進行了選擇,濺射的靶材種類:成分配比為Mo0.35-55(Si0.95,Al0.05)0.65-45
粉末冶金燒結(jié)板為靶材;工件材料的種類:鈦合金。該梯度復合納米晶硅化物涂層具有高韌性、高硬度以及優(yōu)異的耐腐蝕性,能明顯提高鈦合金的耐磨性、耐腐蝕性能和抗氧化性能。
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