本發(fā)明涉及一種提純
多晶硅的方法,具體涉及一種揮發(fā)性渣氣協(xié)同提純多晶硅的方法,屬于冶金技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種揮發(fā)性渣氣協(xié)同提純多晶硅的方法。該方法包括如下步驟:a、將原料硅與揮發(fā)性渣系造渣劑混合,在惰性氣體氛圍中加熱至熔融,得到熔體;b、在熔體中吹入氨氣混合氣體,并保溫反應(yīng)60~120min,然后冷卻、硅渣分離,得到提純后的多晶硅。本發(fā)明方法,采用揮發(fā)性渣氣協(xié)同提純多晶硅,在多晶硅提純過程中實(shí)現(xiàn)了氯化氧化氮化的協(xié)同作用,可在較短的處理時(shí)間內(nèi)大幅度降低硅中硼雜質(zhì),進(jìn)而大幅降低提純能耗。
聲明:
“揮發(fā)性渣氣協(xié)同提純多晶硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)