本發(fā)明公開了一種超細(xì)球形鎢粉及其制備方法,屬于
粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明以粗鎢酸銨為原料,采用化學(xué)精煉法制得球形鎢粉,其方法包括離子交換、溶劑萃取、蒸發(fā)結(jié)晶、霧化造粒和微波煅燒,最后制得超細(xì)球形鎢粉。本發(fā)明制得的超細(xì)球形鎢粉純度為大于99.995wt%以上,粒徑為0.1~3μm,振實密度為5.1~6.3g/cm3,粉體流動性好。該鎢粉可用于生產(chǎn)濺射靶材和半導(dǎo)體元器件,是大規(guī)模集成電路關(guān)鍵原材料,市場需求巨大,應(yīng)用前景廣闊。同時,該制粉工藝也可用于指導(dǎo)生產(chǎn)其他金屬粉體。
聲明:
“超細(xì)球形鎢粉及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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