本實(shí)用新型屬于用物理冶金技術(shù)提純技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種電子束熔煉提純
多晶硅的設(shè)備,由上腔室和下腔室構(gòu)成腔室整體,所述上腔室底板上通過坩堝架活動(dòng)安裝有熔煉坩堝,滑動(dòng)機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)桿安裝于熔煉坩堝一側(cè),上腔室側(cè)壁上固定安裝有裝料箱,送料帶固定安裝于裝料箱之上,送料帶送料口位于熔煉坩堝正上方,下腔室通過導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)活動(dòng)安裝于支撐腿之上,且位于上腔室正下方,下腔室底板上固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu),旋轉(zhuǎn)臺(tái)固定安裝于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上,頂撐臺(tái)活動(dòng)安裝于旋轉(zhuǎn)臺(tái)之上,凝固坩堝置于頂撐臺(tái)之上,上腔室底板和下腔室頂板上都開設(shè)有硅液傾倒口,本實(shí)用新型的設(shè)備,結(jié)構(gòu)緊湊,易于操作,安全可控,生產(chǎn)效率高。
聲明:
“凝固坩堝旋轉(zhuǎn)式電子束熔煉提純多晶硅的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)