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鉬鈦合金濺射靶材板的制備方法

880 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:51:21

本發(fā)明公開了一種鉬鈦合金濺射靶材板的制備方法，將鉬粉和鈦粉裝進三維混料機中，充入氬氣，使兩種粉末在氬氣氣氛中充分混合，得到鉬鈦合金粉末；將鉬鈦合金粉末放入模具中冷等靜壓得到預成形坯；將預成形坯抽真空后在氦氣氣氛下燒結，得到燒結毛坯，最后經(jīng)過機加工后即得。本發(fā)明鉬鈦合金濺射靶材板的制備方法，采用傳統(tǒng)粉末冶金方法，同時在燒結過程中抽真空并通入保護氣氛氦氣，使得制備得到的鉬鈦合金濺射靶材板，可以直接生產滿足現(xiàn)需求的大尺寸濺射靶材，產品質量得到保證，且該方法成本較低，基本無廢料，無污染，可以使鉬鈦合金濺射靶材板的成本顯著降低。

聲明：

“鉬鈦合金濺射靶材板的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)