本發(fā)明提供了一種鎵酸鑭薄膜光電探測器,以及相應(yīng)的
鈣鈦礦結(jié)構(gòu)鎵酸鑭薄膜及其制造方法。所述的探測器包括依次疊置的襯底、鎵酸鑭薄膜和電極,其中鎵酸鑭薄膜為(00l)取向的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)LaGaO
3外延薄膜,襯底為LaAlO
3襯底。本發(fā)明的工藝可控性強(qiáng)、容易操作。本發(fā)明制得的鎵酸鑭薄膜表面致密、厚度穩(wěn)定均一,適于大面積制備、且重復(fù)性好。本發(fā)明制得的光電探測器暗電流極小、紫外可見抑制比高、響應(yīng)度高、且制造工藝簡單。
聲明:
“鎵酸鑭薄膜及其制造方法及相應(yīng)的鎵酸鑭薄膜光電探測器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)