本發(fā)明涉及金屬混合真空濺射合金靶材材料及其制作方法及用途。本發(fā)明的材料由以下物質(zhì)按重量百分比構(gòu)成:銅90%-95%,鋁1%-6%,鉻1%-3%,鈦1%-3%。本發(fā)明材料的制作方法,包括如下步驟:1)將銅、鋁、鉻、鈦原料按重量百分比充分混合;2)把混合粉末通過
粉末冶金的方法燒結(jié)成靶材。上述燒結(jié)而成的靶材通過焊接工藝結(jié)合在銅或鉬的背板上。本發(fā)明材料的用途用于通過真空磁控濺射制造不可逆光存儲(chǔ)光盤。本發(fā)明的金屬混合真空濺射合金靶材材料可降低制作光盤的成本,提高光盤使用壽命,提升光盤片的刻錄和數(shù)據(jù)穩(wěn)定性能。本發(fā)明材料的制作方法方便實(shí)用。本發(fā)明的材料的用途用于替代傳傳統(tǒng)光盤生產(chǎn)中所用材料。
聲明:
“金屬混合真空濺射合金靶材材料及其制作方法及用途” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)