本實用新型公開了單晶硅棒端面研磨盤,它包括可隨旋轉(zhuǎn)主軸(15)轉(zhuǎn)動的中間盤(12)、與中間盤固定相連的上模板(6)和下模板(7)、以及固定設(shè)置在下模板上的研磨層(9),所述中間盤內(nèi)設(shè)置有可通入研磨液的貯液腔(13),貯液腔與進液管(11)上端相通,進液管下端穿過上模板和下模板與研磨層上的分液腔(8)相通,所述研磨層用拋光布制成。研磨的單晶硅棒端面受速高轉(zhuǎn)動研磨,其端面上溫度分布均、散熱快,熱應力小,不會產(chǎn)生微小裂紋和其他損傷,因而提高了單晶硅棒端面研磨質(zhì)量,提高了研磨效率,又降低了研磨成本。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便,主要用于單晶硅棒端面研磨外,還可用于
多晶硅棒端面、陶瓷、冶金粉末的研磨。
聲明:
“單晶硅棒端面研磨盤” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)