本發(fā)明提供一種水平連續(xù)漸變的平面
鈣鈦礦薄膜的制備方法及其應(yīng)用,屬于鈣鈦礦薄膜制備和光探器件技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明針對(duì)ABX3型鈣鈦礦,本發(fā)明提出了一種基于溫度梯度原位轉(zhuǎn)化漸變帶隙鈣鈦礦吸收層的制備手段,能夠在一步蒸汽氣氛退火的過(guò)程中實(shí)現(xiàn)平面方向連續(xù)漸變的鈣鈦礦膜層,并基于此實(shí)現(xiàn)了基于寬帶光探測(cè)器集成機(jī)制的光譜分辨?;诒景l(fā)明制備的漸變鈣鈦礦薄膜的金屬?半導(dǎo)體?金屬(MSM結(jié)構(gòu))探測(cè)器結(jié)構(gòu),可以在無(wú)偏壓條件下實(shí)現(xiàn)光譜探測(cè),其外量子效率接近理論極限(最高大于90%);基于本發(fā)明制備的漸變鈣鈦礦薄膜的光電池結(jié)構(gòu)雖然要求透明襯底,但其響應(yīng)速度可達(dá)納秒量級(jí),為目前最快速度光譜探測(cè)。
聲明:
“水平連續(xù)漸變的平面鈣鈦礦薄膜的制備方法及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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