本實用新型涉及一種
鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的在線監(jiān)測設(shè)備,包括顏色分析裝置,和/或溫度測試裝置,以及數(shù)據(jù)處理反饋系統(tǒng),顏色分析裝置包括顏色探測頭,溫度測試裝置包括測溫探頭。
鈣鈦礦太陽能電池基片放置在真空密封艙內(nèi)進行蒸鍍加工生產(chǎn),密封艙內(nèi)設(shè)置有被蒸發(fā)控制系統(tǒng)控制的蒸發(fā)源,顏色探測頭和測溫探頭分別對準(zhǔn)鈣鈦礦太陽能電池基片表面或背面區(qū)域,數(shù)據(jù)處理反饋系統(tǒng)的分析數(shù)據(jù)反饋至蒸發(fā)控制系統(tǒng)。本實用新型通過監(jiān)測鈣鈦礦薄膜生產(chǎn)過程中的各類性能參數(shù),控制其反應(yīng)進程,提高各批次鈣鈦礦薄膜生產(chǎn)的重復(fù)性。
聲明:
“鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的在線監(jiān)測設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)