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鈣鈦礦光電晶體管

976   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-01 00:40:01
本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種鈣鈦礦光電晶體管,屬于光探測(cè)領(lǐng)域。所述光電晶體管器件包括基礎(chǔ)襯底,位于基礎(chǔ)襯底上的漏源金屬電極,金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜,所述金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜上覆蓋有電荷傳輸界面層,所述電荷傳輸界面層上方有圖形化的有機(jī)無(wú)機(jī)雜化鈣鈦礦材料層,所述電荷傳輸界面層至少將圖形化的有機(jī)無(wú)機(jī)雜化鈣鈦礦材料層與源漏金屬電極、金屬氧化物薄膜分隔開,基礎(chǔ)襯底上方設(shè)有一層鈍化層,所述鈍化層將器件全部覆蓋。所述鈣鈦礦光電晶體管為底柵底接觸結(jié)構(gòu),具有暗電流低、響應(yīng)速度快、寬光譜響應(yīng)的特性,與硅基光電探測(cè)器相比具有成本低廉,制備能耗低的特點(diǎn),器件制備工藝與目前硅基工藝平臺(tái)具有良好的兼容性。
聲明:
“鈣鈦礦光電晶體管” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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