本發(fā)明提供了一種鉬鈦合金濺射鍍膜靶材的制備方法,包括將單組份的鉬粉與鈦粉形成的二元合金粉末或者鉬粉、鈦粉以及鎳粉形成的三元合金粉末過篩處理的步驟、冷等靜壓步驟、真空燒結步驟、鍛造加工步驟、退火處理步驟、機加工步驟、潔凈處理步驟,制得鉬鈦合金濺射鍍膜靶材;本發(fā)明通過冷等靜壓、真空燒結及鍛造加工步驟,實現致密度高、耐腐蝕性能好且導電性能好的高性能鉬鈦合金的制備,制得實際密度趨近或者等于合金的理論密度,且平均晶粒尺寸≤50um的鉬鈦合金。
聲明:
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