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鈣鈦礦薄膜的橫向區(qū)域熔化再結(jié)晶的裝置和方法

897   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-01 00:40:02
本發(fā)明公開(kāi)了一種對(duì)于有機(jī)?無(wú)機(jī)的金屬鹵化物鈣鈦礦及其衍生物的非晶或多晶薄膜材料的結(jié)晶和再結(jié)晶的裝置和方法,特別是涉及橫向區(qū)域熔化再結(jié)晶,并應(yīng)用于鈣鈦礦的非晶或者多晶薄膜,其有利于減少晶疇之間的空隙,消除晶疇間的界面和增大晶疇。裝置中包含輻射源、聚焦和掃描單元、薄膜的氣氛控制環(huán)境、薄膜的加熱平臺(tái)和前驅(qū)體的加熱器等。本發(fā)明適用于光伏薄膜、LED顯示器發(fā)光薄膜、圖象探測(cè)器薄膜和x光圖象探測(cè)器薄膜等需要較大面積的鈣鈦礦單晶、準(zhǔn)單晶或者較大晶疇的多晶的需要。
聲明:
“鈣鈦礦薄膜的橫向區(qū)域熔化再結(jié)晶的裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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